天游8线路检测中心设备简介

透射电子显微镜 (TEM)

分析电子显微镜

扫描电子显微镜 (SEM)

横截面抛光机 (CP)

电子探针微量分析仪 (EPMA)

螺旋微探针（螺旋）

光电子能谱仪（XPS、ESCA）

扫描探针显微镜 (SPM)

晶圆工艺评估设备

X射线荧光分析仪（XRF）

核磁共振 (NMR)

电子自旋共振 (ESR)

气相色谱质谱仪 (GC-MS)

基质辅助激光解吸电离飞行时间质谱仪 (MALDI-TOFMS)

液相色谱质谱仪 (LC-MS)

电子束光刻设备（可变/点）

用于电子束蒸发的电子束枪

电子束金属3D打印机