功能
JIB-4000PLUS是配备高性能离子镜筒的聚焦离子束加工观察装置（单束FIB装置）。通过将加速后的Ga离子束聚焦并照射到样品上，可以对样品表面进行SIM图像观察、铣削以及碳、钨等的沉积，从而可以制作用于TEM观察的薄膜样品和用于观察样品内部的截面样品。此外，还可配备三维观察功能和自动TEM制样功能，满足多种制样需求。
高功率 FIB 柱
JIB-4000PLUS 使用高功率 FIB 色谱柱，最大离子束电流为 60nA。此外，最大电流值可以选择性地扩展到 90nA。通过增加最大束流，现在可以缩短样品制备时间并在更广泛的区域内制备样品。可以在短时间内制备超过100μm的宽截面样品。
图1直径为100μm的焊料凸块的横截面样品制备和横截面观察
友好的 FIB 设备
JIB-4000PLUS 将高功率 FIB 色谱柱与易于使用的功能相结合。设备外观设计和GUI设计基于易于使用的FIB设备的概念。这是一种开放式设备，即使从未使用过 FIB 设备的人也可以轻松使用。此外，该设备尺寸是业内最小的之一，为您提供了更广泛的安装位置。
双级
JIB-4000PLUS 标准配备了处理散装样品的散装样品电机台。此外，还可以添加侧入式测角仪台，其中可以直接插入 TEM 尖头支架。侧入测角台与 JEOL 的 TEM 相同，可以轻松重复 FIB 处理和 TEM 观察。
三维观察功能
用于 3D 观察的连续切片观察功能现已成为标准功能。
JIB-4000PLUS 是单光束 FIB，但可以使用 SIM 图像进行三维观察。可选的 3D 重建软件允许您将收集的横截面图像重建为 3D 图像，让您从各个角度查看 3D 图像。
图2 CCD图像传感器三维重建图像
自动TEM样品制备功能
JIB-4000PLUS 配备可选的自动 TEM 样品制备功能“STEMPLING”。
有了此功能，样品制备不再需要高级技能。任何人都可以轻松准备样品。此外，由于可以自动制备多个样品，因此可以优化工作效率，例如在夜间制备大量样品。
图3 自动TEM样品制备功能（STEMPLING）的处理示例样品：硅晶圆
丰富的附件
JIB-4000PLUS有多种附件支持操作。有些 CAD 导航系统适用于电路修改应用，而矢量扫描系统则适用于加工特殊形状。通过添加适当的附件，JIB-4000PLUS 可用于样品制备以外的应用。
相关链接
新闻稿
聚焦离子束加工观察系统JIB-4000PLUS现已上市 - 具有自动TEM样品制备功能、最大照射电流90nA的高通量FIB -
离子束应用设备通用专用样品架和适配器
规格/选项
FIB
| 离子源 | Ga液态金属离子源 |
|---|---|
| 加速电压 | 1－30kV |
| 放大倍数 | ×60（用于视野搜索） ×200～×300,000 |
| 图像分辨率 | 5nm（30kV） |
| 最大束电流 | 60nA（30kV 时）90nA（30kV 时）*选项 |
| 可移动光圈 | 12级（电机驱动） |
| 离子束加工形状 | 矩形、线条、点 |
样品台
| 样品阶段 | 用于散装样品的 5 轴测角仪平台 |
|---|---|
| 移动范围 | X：±11毫米Y：±15毫米Z: 05 ~ -23 毫米温度：-5 至 +60°R：360°无尽 |
| 最大样本量 | 28mmφ（高度13mm）50mmφ（高度2mm） |
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申请
与JIB-4000PLUS相关的应用
使用 4D-STEM 和 STEM-EELS 对 FinFET 进行平面图观察
图库
视频
JIB-4000PLUS 外观
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三维观察（CCD图像传感器）
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相关产品
IB-07080ATLPS、IB-77080ATLPS 自动TEM薄膜生产系统STEMPLING
自动 TEM 薄膜制备系统 STEMPLING 是使用 FIB 自动制备 TEM 样品的软件。它的开发是为了满足FIB样品制备的需求，包括不依赖于用户技术水平的样品制备和允许制备大量样品的技术。使用 STEMPLING，样品制备不需要高级技能，任何人都可以轻松制备样品。此外，由于可以自动制备多个样品，因此可以优化工作效率，例如在夜间制备大量样品。可与JIB-4700F复合束加工观察装置和JIB-4000PLUS聚焦离子束加工观察装置配套使用。
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