ty8天游官网登录 开始销售聚焦离子束处理和观察系统 JIB-4000PLUS - 具有自动 TEM 样品制备功能和最大照射电流 90 nA 的高通量 FIB -
发布日期：2019/01/07
天游线路检测中心（总裁：栗原权卫门）开发了一种新型聚焦离子束处理和观察装置 (FIB) JIB-4000PLUS，并于 2019 年 1 月开始销售。
开发背景
在材料的纳米级结构控制以及功率半导体和CMOS传感器的开发和制造中，广泛使用SEM（扫描电子显微镜）、TEM（透射电子显微镜）和STEM（扫描透射电子显微镜）观察和控制其形貌，但这些需要聚焦离子束作为样品预处理设备 观测值正在增加。另一方面，还需要提高样品前处理效率、缩短时间、降低前处理成本。
为了满足这些需求，我们开发了以自动化和加速为主题的JIB-4000PLUS。
借助新开发的“STEMPLING”（选件），现在可以在无需任何人员的情况下连续自动制备多个 SEM、TEM 和 STEM 观察样品。此外，最大辐照电流现在可增加至 90 nA（可选），与传统机器相比，可缩短处理时间。
JIB-4000PLUS是新一代聚焦离子束加工和观察系统，实现了市场所需的自动化和高速化。
主要特点
- 自动TEM样品制备功能
自动 TEM 样品制备功能“STEMPLING”可以作为选件安装。该功能使任何人都可以轻松自动地制备样品。此外，由于可以自动制备多个样品，因此可以提高样品制备的吞吐量，例如通过在夜间制备大量样品。 - 高功率 FIB 柱
JIB-4000PLUS 使用高功率 FIB 色谱柱，最大离子束电流为 60 nA。此外，最大电流值可以选择性地扩展到 90 nA。通过增加最大束流，可以缩短样品制备时间并在更广泛的区域内制备样品。 - 三维观察功能
用于 3D 观察的连续切片观察功能现已成为标准功能。
JIB-4000PLUS是单光束FIB，但可以使用SIM图像进行三维观察。可选的 3D 重建软件允许您将收集的横截面图像重建为 3D 图像，让您从各个角度查看 3D 图像。 - 各种附件
JIB-4000PLUS 有多种附件来支持其操作。
其中包括可直接插入 TEM 样品架的侧入式测角台、用于电路修改应用的 CAD 导航系统、用于加工特殊形状的矢量扫描系统以及附加的气体喷射系统。通过添加适当的附件，JIB-4000PLUS 可用于样品制备以外的应用。
主要规格
| FIB | |
|---|---|
| 离子源 | Ga液态金属离子源 |
| 加速电压 | 1 至 30 kV |
| 放大倍数 | ×60（视野搜索），×200至×300,000 |
| 图像分辨率 | 5 nm（30 kV） |
| 最大束流 | 60 nA（30 kV）标准 90 nA（30 kV 时）选项 |
| 可移动光圈 | 12级（电机驱动） |
| 加工形状 | 矩形、直线、点、圆形、任意形状（通过图像文件“位图”（可选）和“矢量扫描”（可选）） |
| 样品台 | |
| 样品台 | 用于散装样品的 5 轴测角仪平台 |
| 移动范围 | X：±11毫米 Y：±15毫米 Z：05至-23毫米 温度：−5 至 +60° R：360°无尽 |
| 最大样本量 | 外径28毫米（高度13毫米） 外径50毫米（高度2毫米） |
我们计划将其出售给公共和私人研发基地以及半导体公司。
标准价格
46,000,000 日元起
计划销量
20 单位/年
