天游线路检测中心 精细形状的准备
IB2019-11
FIB的高精度微加工功能也可用于微形状生产。当用于加工微型零件时，可以轻松地创建难以加工的亚微米级的微小形状。
矢量处理系统※选项
矢量加工系统是一种处理使用普通加工（光栅扫描加工）难以创建的复杂形状的系统。可以从任何形状的灰度图像到与图像相同的形状进行FIB铣削。
环形光圈的制作
我们使用矢量处理系统来制造环形光阑，有望在带电粒子光学中得到应用。它是使用厚度为 5 μm 的钼箔上两种形状的灰度图像制成的。
加工形状的图像
制造的环形光圈
微拉伸试件的制备
通过调整离子束入射到样品上的方向，只需使用 FIB 的基本功能即可创建复杂的三维形状。我们仅使用 FIB 的标准功能创建了一个带有钩子的小型拉伸测试件。
拉伸试件制备过程
准备好的拉伸试片
材质：铜板
