自动 TEM 薄膜制备系统 STEMPLING 是使用 FIB 自动制备 TEM 样品的软件。它的开发是为了满足FIB样品制备的需求，包括不依赖于用户技术水平的样品制备和允许制备大量样品的技术。使用 STEMPLING，样品制备不需要高级技能，任何人都可以轻松制备样品。此外，由于可以自动制备多个样品，因此可以优化工作效率，例如在夜间制备大量样品。可与JIB-4700F复合束加工观察装置和JIB-4000PLUS聚焦离子束加工观察装置配套使用。
功能
通过简单的设置即可制备各种标本
可以使用 STEMPLING 中包含的标准配方来制备 TEM 样本和横截面样本等 5 种样本。
可用于使用 FIB 制备样品时的各种情况。
图1 可使用标准配方生产的样品样品：硅晶圆
可以通过自动处理制备多个样品
离子束自动调节功能可以长时间自动制备多个样品。
这样可以在夜间进行无人值守的样品制备。
图 2 显示了连续 TEM 样品制备约 8 小时的结果。
制备了10个样品，所有样品均以相同的方式制备，表明进行了稳定的自动样品制备。
薄膜尺寸：宽10μm x 高7μm
薄膜厚度：100nm
图2 长期连续TEM样品制备示例（8小时）样品：硅片
即使对于有步骤的样品也可以稳定地制备样品
自动中心调节功能即使对于有台阶的样品或不同高度的样品也能实现稳定的自动样品制备。
图3显示了使用台阶约70μm的样品制作薄膜样品的结果。可以在台阶上方和下方正确创建薄膜样品。
图 3 使用具有步骤的样品制备 TEM 样品（样品：Si 晶圆上的 TEM 样品网格）
适用机型
| 产品名称 | 型号 | 适用机型 |
|---|---|---|
| 全自动TEM薄膜生产系统 | 天游ty8线路检测中心-07080ATLPS | JIB-4000PLUS |
| 天游ty8线路检测中心-77080ATLPS | JIB-4700F |
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天游ty8线路检测中心-07080ATLPS、天游ty8线路检测中心-77080ATLPS 自动TEM薄膜生产系统STEMPLING
