天游线路检测中心 TEM 样品制备自动化
IB2019-05
FIB 被广泛用作样品制备工具，因为它可以制备高位置精度的 TEM 样品。然而，制备 TEM 样品需要 FIB 知识和专业知识。自动化 TEM 样品制备非常重要，这样任何人都可以通过短期培训进行样品制备。
自动 TEM 样品制备系统“STEMPLING”※选项
STEMPLING 可以在 TEM 样品制备的批量拾取方法中实现块制备和薄膜处理的自动化。
镁合金TEM样品制备
通过 STEMPLING，使用批量拾取方法自动制备镁合金 TEM 样品。TEM观察的结果发现，制备的样品具有均匀的膜厚，使得可以进行高分辨率观察。
样品制备
TEM 观察
制备样品的状态
- 薄膜尺寸：宽4μm x 高7μm
- 薄膜厚度：约。 100nm，均匀
- 可以观察高分辨率图像（点阵图像）
