天游线路检测中心 红外截止滤光片缺陷分析
IB2019-04
IR截止滤光片是一种光学薄膜，其玻璃基板表面涂有电介质多层膜。光学薄膜用于相机和眼镜镜片、光学滤光片、增透膜等。随着数码相机性能的提高，对光学薄膜也提出了高品质的要求。缺陷分析需要处理大量样品。自动样品制备功能，可实现多点自动处理和观察，提高分析工作效率。
自动 TEM 样品制备系统“STEMPLING”※选项
自动TEM样品制备系统STEMPLING可以自动化TEM样品制备、截面样品制备和截面观察。
红外截止滤光片缺陷的横截面观察
STEMPLING 自动对红外截止滤光片上的四个缺陷进行横截面样品制备和 SIM 图像观察。从所获得的截面图像可知，缺陷#1是附着于样品表面的异物，缺陷#2～#4是在硅氧化膜形成时产生的缺陷。
处理前红外截止滤光片上的缺陷状态（SIM 图像）
自动处理制备的横截面样品
自动获取截面观察图像（SIM图像）
