天游线路检测中心 半导体®日本 2023
我们将展出各种科学和测量仪器，包括用于故障分析和工艺开发的电子显微镜，以及用于光刻的电子束光刻设备。作为实机展示，我们还将对擅长观察半导体样品的肖特基场发射扫描电子显微镜JSM-IT800<i>/<is>以及具有高通量和自动化功能的通用扫描电子显微镜JSM-IT710HR进行功能演示。我们知道您很忙，但我们想借此机会邀请您来参观我们。
日期/地点
日期：
2023 年 12 月 13 日星期三 - 2023 年 12 月 15 日星期五 10:00-17:00地点：
东京 Big Sight 东展览馆 4 号馆（展位号 4309）
东京都江东区有明 3-11-1 135-0063地图
展览内容
用于故障分析和工艺开发的产品
JSM-IT710HR扫描电子显微镜现场演示JSM-IT800<i>/<is>肖特基场发射扫描电子显微镜现场演示JEM-ACE200F 高通量分析电子显微镜JIB-PS500i FIB-SEM 系统设备使用支持简介
使用电子显微镜和铣削设备的半导体分析数据的其他示例
光刻
JBX-8100FS系列电子束光刻系统JBX-9500FS电子束光刻系统JBX-3200MV电子束光刻系统JBX-3050MV/S电子束光刻系统
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