天游ty8检测中心 JSM-IT710HR 扫描电子显微镜

我能看到它，所以我想追寻它

在不仅纳米级分辨率和分析性能，而且获取数据时的吞吐量也很重要的时代，新诞生的 JSM-IT710HR 是 JEOL HR* 系列的第四代型号，其主题是“任何人都可以轻松拍摄高分辨率图像的 SEM”。
这款设备将让您想要进一步探索您所看到的之外的事物，这要归功于改进的观察性能，将可操作性与扩展的自动功能和新的探测器系统相结合。

*HR=高分辨率

功能

产品视频

可见

① SEM图像与光学图像联动可见

样本提供者：Hinotonton ZOO（羽村动物园）

②高分辨率电子枪提供良好的结果可见

因为我能看到它追求我想要。

充电减少

低真空

3D 观察

多分区探测器

元素信息

EDS^※

晶体结构分析

EBSD^※

*可选。

充电减少
样本提供者：东京农工大学工学院生物技术系浅仓哲郎教授

晶体结构分析
样品提供者：国立材料科学研究所 (NIMS) 津崎兼明教授

新功能

自动测量功能：简单SEM/EDS

简单扫描电镜

简单SEM是一种通过一次注册多个条件来允许自动测量的功能。这立即提高了日常工作的效率。

动态构建 3D 雕像：Live 3D

新型多段背散射电子探测器可以同时从四个方向获取背散射电子图像，创建简单的三维重建图像，并将其显示为实时图像。

从 4 分割元素获得的图像

样品：塑性断裂面

实时 3D 图像

新型低真空二次电子探测器LHSED

新开发的LHSED可以在低真空下获得清晰的不均匀信息和发光信息。

LHSED 的功能

• 提高低真空二次电子图像的实时图像质量
• 获取发光信息
• 可以切换不均匀/发光信息

肖特基FE电子枪的稳定性比之前的型号提高了4倍以上

自动光束调整

JSM-IT710HR 可以自动调整从轴对准到散光和焦点的所有内容，而无需依赖复杂的手动调整。

二次电子探测系统

二次电子探测器（SED）

样品：孔雀羽毛^※
*观察样本提供者：Hinotonton ZOO（羽村动物园）

低真空二次电子探测器（LVSED 或 LHSED）

样品：纤维素微纤维

高分辨率和大电流并存

JSM-IT710HR中使用的肖特基场发射电子枪将聚光透镜和电子枪集成在一起，允许使用大电流，同时抑制光束直径扩展，从而实现高分辨率观察和分析。

背散射电子探测系统

新型多段背散射电子探测器可以同时从四个方向获取背散射电子图像，创建简单的三维重建图像，并将其显示为实时图像。

所有分析都从“Zeromag”开始

Zeromag 的光学图像提高了现场寻找的吞吐量。
SEM 图像可以链接到光学图像，从而轻松观察、分析和自动化测量。

EDS 集成

JEOL 不仅生产和销售 SEM，还自行生产和销售 EDS。
利用这一优势，可以同时操作和管理SEM观察屏幕和EDS分析结果，大大提高了可操作性和数据管理。

相位分析功能

JEOL 的 EDS 中添加了相分析功能。可以绘制每种物质（化合物/单一物质）的图谱。

背散射电子图像

相图（各相的叠加）

样品：精密切割刀片横截面

通过物相分析获得了 Co、Cu 和 Sn 成分差异的图谱。

公司面积(%)：6815

铜锡 (CuRich)面积(%)：1625

CuSn (富锡)面积(%)：1454

规格/选项

请参阅产品目录。

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JSM-IT710HR 扫描电子显微镜

申请

电子设备

JSM-IT710HR可利用的特点：高分辨率、高对比度、广域观察

LED

电子器件连接界面处的纳米空隙也清晰可见

示例：LED CP^※横截面
观察倍率：×250（上）、×1,000（左下）、×40,000（右下）
加速电压：5 kV

※ CP：横截面抛光机™

接线方式

利用低真空功能，无需蒸镀即可大面积观察抗蚀剂表面

样品：布线图案表面，观察倍率：×200（左），×300（右），真空压力：70 Pa，加速电压：15 kV

静态随机存储器

高分辨率 EDS 地图

示例：SRAM 的 CP 横截面
观察倍率：×10,000（上）、×50,000（下）

背散射电子图像

EDS 地图

铝焊盘

通过同时获取低真空二次电子和背散射电子图像，我们无需气相沉积即可获取广泛的器件表面不规则性和成分信息

低真空二次电子图像

低真空背散射电子图像

样品：焊盘表面，观察倍率：×100，真空压力：70 Pa，加速电压：15 kV

钢

JSM-IT710HR可利用的特点：适合EBSD分析的光学系统（肖特基场发射电子枪、外透镜）

能源陶瓷

JSM-IT710HR可利用的特点：分析能力、低真空功能

钙钛矿太阳能电池基板

太阳能电池基板中纳米级层的高精度分析

陶瓷基板（Si₃N₄)

使用低真空功能，无需气相沉积即可对绝缘子进行元素分析

低真空背散射电子图像

低真空元件图

加速电压：5 kV，低真空元素映射（30 Pa）
零件：Si₃N₄机械抛光基材表面^※
*机械抛光后Ar平面铣完成

软材料/生命科学

可以利用JSM-IT710HR的特点：低加速电压、低真空功能、超低倍率观察

ABS树脂

即使采集数万倍大的多幅图像，也能实现稳定的图像亮度和图像拼接精度

明胶

高亮度、高分辨率二次电子图像

人造血管

从低到高放大倍数观察载玻片上的生物样本

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