― 从“思考操作”到“委托测量”-
“ty8天游官网登录 eye™”是一种半导体专用 TEM，可使用基于配方的操作工作流程自动执行从 TEM/STEM 观察到 EDS 分析的所有操作。通过标准化测量条件实现高再现性，并灵活支持从半自动化到全自动的一切。使用 AI（ASCOR 标准功能）和先进自动化算法的自动像差校正始终保持最佳测量条件，并实现独立于操作员的高精度测量。此外，凭借成熟的硬件技术和长期稳定运行的设计，它提供了半导体分析所需的可操作性和高可靠性。
功能
自动化
通过创建测量条件和程序的配方，从 TEM/STEM 观察到 EDS 分析的所有内容都可以ty8天游官网登录单一配方自动执行，从而实现独立于操作员的稳定测量结果。
灵活支持半自动化到全自动化，让您根据测量目的和操作环境选择最佳的自动化级别。
ASCOR（CEOS制造）作为标准安装，ty8天游官网登录AI和先进自动化算法的自动像差校正优化了测量条件并始终保持最佳测量条件。
自动调节焦点调节、像散校正、样品高度调节、光束对中、晶体取向对准等主要参数。
大型液氮罐（制冷剂保留时间约5天）、自动测量软件“Automation Center”（可选）和MSP（MultiSPECPORTER，可选）的组合可实现无人值守的长时间连续自动测量，有助于提高测量效率和设备利用率。
稳定性
采用宽间隙极片和 ASCOR（CEOS 制造）的稳健设备设计可实现高分辨率观察和高灵敏度 EDS 分析的稳定结合，提供适合半导体材料微观结构分析的观察环境。
TEM 和 STEM 均实现 ±05% 的高放大倍率重复性，即使在长期测量和自动测量过程中，也能实现稳定定位和高度可靠的数据采集。
ty8天游官网登录LogChecker（可选）持续监控设备状态和外部环境（磁场、振动、室温、水温），使测量环境可视化并持续支持稳定运行。
镜筒外壳可减少外部干扰的影响，进一步提高自动测量和高倍观察的再现性和可靠性。
可操作性
直观的用户界面“TEM Center”让您只需简单的鼠标操作即可完成从观察到测量的所有操作，从而实现不依赖于操作经验的流畅观察和测量。
“自动化中心”有两种模式：操作员/管理员，您可以根据自己的角色轻松配置和管理操作。
与 GATAN 相机的无缝集成可实现从图像采集到数据存储的顺利执行，从而提供高效的观察结果和可靠的数据。
ty8天游官网登录新开发的支架，只需轻轻一触即可安装样品网格，简化了安装和拆卸网格的任务，有助于减轻日常工作的负担和测量准备时间。
FIB 联动
双轴倾斜盒（可选）和专用 TEM 支架（可选）可实现 TEM 和 FIB 之间的顺利协作。
只需轻轻一按即可将卡盒安装到专用支架上，因此在样品制备后无需直接处理 TEM 网格。这有助于减少工作量和样品处理风险。
规格/选项
| TEM 分辨率（200 kV 时） |
|
||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| STEM 分辨率（200 kV 时） |
|
||||||
| 电子枪 | 冷阴极场发射电子枪 (CFEG) | ||||||
| 加速电压 | 60kV～200kV（兼容200 kV、80 kV标准，其他加速电压可选） | ||||||
| 像差校正装置 | STEM:ASCOR（标准配置） | ||||||
| 机芯示例 | X,Y±10 毫米 Z ±04 毫米 | ||||||
| 倾斜角度示例 |
|
||||||
| 选项 | JEOL 160 毫米制造2SDD（双），自动化中心，MultiSPECPORTER、断层扫描、EELS |
图库
LAADF-STEM 图像
示例：半导体器件 (GAA)
加速电压：200kV
HAADF-STEM 图像（CD 测量）
样品：半导体器件 (FinFET)
加速电压：200kV
EDS 图（净计数图）
样品：半导体器件 (FinFET)
加速电压：200 kV
相关产品
更多信息
