这是 JEOL 的新旗舰 FE-SEM,它保持了传统设备备受好评的性能,如超高空间分辨率、高稳定性和多用途,但大大提高了可操作性,无论操作员技能如何,都能始终提供高性能。
功能
Neo Engine(新型电子光学引擎)
配备新开发的下一代电光控制系统Neo Engine(新电子光学引擎),该系统集成了镜头控制系统和自动功能技术。即使改变电子光学条件,光轴也几乎没有偏差,大大提高了可操作性和观察精度,任何人都可以轻松发挥出装置的原始性能。
这个系统可以说是JEOL电光技术的结晶。
①改进的自动功能
样品:矿物的CP截面(树脂嵌入),入射电压:5kV,探测器:RBED,放大倍数:×100,000自动功能不仅更准确,而且可以让您在几秒钟内对焦。
②放大精度的提高
样品:长度测量样品(MRS5),加速电压:10kV,放大倍数:×50,000放大精度也大大提高,高精度的长度测量也成为可能。
③ 提高能量过滤器的可用性
样品:名片,加速电压:15kV,放大倍数:×3,500即使您显着更改能量过滤器设置,视野或焦点也几乎没有偏差。
GBSH-S(GENTLEBEAM™超高分辨率平台偏置模式)
GBSH 是一种在低加速电压下提高分辨率的方法。
利用新开发的 GBSH-S,现在可以向样品台施加高达 5kV 的偏置电压。因此,使用GBSH模式时不需要特殊的支架,并且可以平滑地过渡到其他模式。
什么是 GENTLEBEAM™?通过向样品施加偏置电压,它可以使入射电子减速并加速发射电子。
新型背散射电子探测器
使用新开发的超高灵敏度背散射电子探测器,现在可以进行清晰对比度的观察。与传统型号相比,灵敏度显着提高,即使在低加速电压下也可以获得高构图对比度。
样品:铜的横截面,入射电压:3 kV,放大倍数:x10,000,WD:45 mm
新平台
全新的外观设计,取消了操作控制台,节省了空间。可灵活适应各种安装环境。
新的样品交换方法
使用新设计的样品交换系统(装载锁)。简单的操作减少了操作错误,增加了吞吐量,并提高了耐用性。
为从初学者到专家的所有人提供快速、可靠的样品交换。
微笑导航
Smile Navi是为了帮助初学者在短时间内高效学习基本操作而开发的操作导航系统。当您按照流程图单击图标时,将链接 SEM 操作屏幕并引导您完成操作。
①强调操作按钮
当您将鼠标光标悬停在 Smile Navi 手册上的按钮上时,SEM GUI 上的相应按钮周围将放置一个框架。
当您点击 Smile Navi 手册上的按钮时,SEM GUI 将变灰,而相应的按钮将突出显示。
②显示照片
当您点击 Smile Navi 手册上的按钮时,将会显示一张显示该操作按钮位置的照片。
③显示操作视频
Smile Navi 手册上将播放解释操作步骤的视频。
继承高性能
镜内肖特基 Plus 电子枪
镜内肖特基Plus场发射电子枪通过进一步改进电子枪和低像差聚光透镜的融合实现了高亮度。
可以有效地收集电子枪产生的电子,即使在较低的加速电压下,也可以获得几pA到几十nA的照射电流,无需更换物镜孔径即可进行高分辨率观察、高速元素分布和EBSD分析。
ACL(光圈优化镜头)
ACL(孔径优化镜头)安装在物镜上方,并在整个当前范围内自动优化物镜的孔径角。即使电流量发生变化,也会自动调整入射电子的扩散,因此始终可以获得最小的探针直径。从高分辨率观察到各种分析,即使照射电流变化很大,也可以顺利进行观察。
超级混合镜头
标配自主开发的电磁场叠加物镜“超级混合镜头”,可以以超高空间分辨率观察和分析从磁性材料到绝缘体样品的各种样品。
探测器系统
最多可以使用 4 个探测器同时采集信号。
除了标准的LED(下部探测器)和UED(上部探测器)之外,还可以安装RBEI(可伸缩背散射电子探测器)和USD(上部二次电子探测器)作为选件。
高空间分辨率观测
GBSH(GENTLEBEAM™ 超高分辨率模式)即使在极低的加速电压下也能实现高分辨率观察。
什么是 GENTLEBEAM™?通过向样品施加偏置电压,它可以使入射电子减速并加速发射电子。
高空间分辨率观测 - GBSH 的应用
氧化物纳米材料
金属纳米粒子
低真空功能
凭借其低真空功能,即使是绝缘样品也可以轻松地从观察到分析进行测量,无需导电涂层。
JSM-7900F 即使在低真空下也具有高空间分辨率。
高倍观察
玻璃
EDS 分析
食物
通过使用低真空功能,即使在绝缘样品上也可以轻松抑制带电。
相关链接
开发秘密
特殊样品持有者信息
规格/选项
| 分辨率 | 11 nm (05 kV)*1,10纳米*2 07 nm (1 kV)*1, 07 纳米*2 07 nm (15 kV)*1,06纳米*2 30 nm(5 kV,WD:10 mm,5 nA)*1 *1:间隙法,*2:边缘法 |
|---|---|
| 放大倍数 | ×25 ~ ×1,000,000 |
| 加速电压 | 001 至 30 kV |
| 辐照电流 | 数量 pA ~ 500 nA |
| 探测器(标准) | 上部探测器(UED),下部探测器(LED) |
| 电子枪 | 镜内肖特基Plus场发射电子枪 |
| 孔径角优化镜头 | 内置 |
| 物镜 | 超级混合镜头/SHL |
| 自动功能 | 对焦、散光、亮度、对比度 |
| 长焦模式(LDF) | 内置 |
| 样品台 | 全中心测角台 |
| 机芯示例 | X:70毫米,Y:50毫米,Z:2至41毫米,倾斜:-5至70°,旋转:360° |
| 电机控制 | 5轴电机控制 |
| 样品交换室 | 最大直径:100 mmΦ 最大高度:40 mm H |
| 排气系统 | SIP、TMP、RP |
