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天游ty8检测中心变色分析

MP2020-04

由于类似的电极排列在卡缘板上,因此很难使用SEM找到与使用光学显微镜(LM立体显微镜)发现的天游ty8检测中心区域相同的视野。
通过使用 CLEM 将天游ty8检测中心区域的光学图像和 SEM 图像叠加,您可以可靠地识别天游ty8检测中心区域并快速评估颜色和成分之间的关系。

LM图像(立体显微镜)基础电极部分
LM图像(体视显微镜)天游ty8检测中心区域放大
LM-SEM 叠加图像

光学显微镜图像联动软件*将天游ty8检测中心区域与SEM图像匹配,然后放大观察。

*光学显微镜图像联动软件
这是在 SEM 操作屏幕上将预先获得的 LM 图像叠加到 SEM 实时图像上的软件。

SEM图像(背散射电子图像)

使用光学显微镜(立体显微镜)对天游ty8检测中心上的变色区域进行EDS分析,结果确认了变色区域中S和Cu的不均匀分布。

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