天游线路检测中心 镀金电极变色分析

由于卡缘基板具有类似的排列电极，因此很难使用SEM找到与使用光学显微镜（LM立体显微镜）发现的变色区域相同的视野。
通过使用 CLEM 将变色区域的光学图像和 SEM 图像叠加，您可以可靠地识别变色区域并快速评估颜色和成分之间的关系。

光学显微镜图像联动软件^*将变色区域与SEM图像匹配，然后放大观察。

*光学显微镜图像联动软件
这是在 SEM 操作屏幕上将预先获得的 LM 图像叠加到 SEM 实时图像上的软件。

使用光学显微镜（立体显微镜）对镀金电极上的变色区域进行EDS分析，结果确认了变色区域中S和Cu的不均匀分布。

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