天游线路检测中心 让我们创造世界上最易于使用的扫描电子显微镜

世界上最易于使用的扫描电子显微镜 JSM-7900F 反映了 JEOL 的未来。它的发展始于一定的控制理论。

冲击控制理论

“这太棒了！”

2011年，JEOL SM事业部组长新泽武彦忍不住发出一声叹息。
他手里有30张控制理论。对于不了解的人来说，很难理解数学公式列表中写的是什么，但对于致力于扫描电子显微镜（SEM）研发的新泽来说，它所代表的创新是清晰可见的。

SEM是电子显微镜的一种，是一种可以以约10倍至超过1,000,000倍的放大倍数放大和观察物体的设备。正如放大镜将阳光聚焦在一个点上一样，电子透镜将电子束聚焦在一个点上并将其照射到样品表面。该电子束用作探针来追踪样品的顶部，获得称为二次电子的信号，其中包含有关样品表面的精细不平坦结构和成分的信息。 FE-SEM配备了FE电子枪，这是作为光学显微镜光源的电子枪。与通用SEM相比，光束可以做得更窄，从而可以在更高的放大倍率下进行观察。

JEOL 于 1977 年进入 FE-SEM 市场。
高分辨率对于观察极小样品的表面非常有用，并且广泛应用于从材料、生物学和食品领域的基础研究到半导体质量控制的各个领域。
在需要这种多功能性的FE-SEM中，有时需要稳定地提供大的照射电流，有时需要以小照射电流获得最小的电子束直径，因此根据目的，需要从马拉松运动员变为短跑运动员。
为了在适合各种应用的电子束照射条件下优化电子束直径，必须优化设备的每个部分。这需要对设备的工作原理有透彻的了解。
JEOL不仅在交接产品时提供如何使用产品的培训，还定期举办研讨会，但许多用户抱怨很难将设备发挥到最大性能。
“FE-SEM 分辨率高，但难度大。”这是超越制造商界限的普遍认识。

“我们在FE-SEM分辨率方面处于世界领先水平。但是，分辨率不是我们的最终目标。接下来，让我们更容易使用，让用户可以轻松地获取他们需要的信息。这是公司每个人，不仅仅是我，都在思考的问题。”

“以目前的控制方法，很难创造出世界上最容易使用的扫描电子显微镜。为了实现这个理想，我们必须从头开始重新定义设备的功能，从根本上重新审视硬件和软件。”
因此，新泽请擅长理论计算的亲信宇野盘点控制方法。这一新的控制理论是宇野在四个月的“短时间内”提出的。

高级开发

二泽并不是唯一一个兴奋的人。一直与新泽合作的五位团队成员也意识到了它的潜力，并渴望尽快开始开发。
但是，新泽有顾虑。 “从零开始开发涉及风险。”如果等到解释控制理论、解释其有效性并获得开发许可时，开发就会被推迟。时代要求速度。如果我们实施这一控制理论并展示其功能，而不是继续按原样发展它，没有人会反对。推进发展的决定有些武断。

但是，每个成员都在各自的岗位上竭尽全力。
然而，新泽认为，也许没有人能够准确地掌握所有这些连接起来后会发生什么。
“每个开发者都有新FE-SEM的形象，但实际上他们只负责自己擅长的部分，很难看到全貌。我相信专业的开发者会在自己的岗位上尽力而为。但是，当新FE-SEM通过收集这些努力的成果而完成时，重要的是与大家分享一个坚实的开发理念，这样我们才不会意识到它并不是这样的。”