天游线路检测中心 电子束光刻设备（可变/点）
计算机、智能手机和家用电器等电子设备都采用了称为 LSI（大规模集成电路）的半导体元件。随着小型化和高密度化的发展，LSI 电路现在被绘制成极其精细的图案，目前最小尺寸已降至 10 纳米（头发丝大小的 1/10,000）。需要电子束光刻系统来精确加工此类超精细电路。随着物联网社会的实现和5G时代的到来，半导体的需求不断扩大，预计电子束光刻设备的作用也将增加。
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