功能
同时实现高绘图精度和高吞吐量
追求稳定性的电子光学系统
支持最大 300 毫米晶圆
适用于 300 mm 晶圆 FOUP
可以与自动处理器等其他产品串联安装
与我们的传统型号相比功耗低
易于使用，任何人都可以使用
应用示例
DFB 激光/纳米压印
超透镜
透镜阵列
T 型门
光子晶体
规格/选项
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 加速电压 | 100 kV |
| 字段大小 | 1000微米 |
| 最小增量 | 025纳米 |
| 字段连接准确性 | ±9纳米 |
| 叠加精度 | ±9纳米 |
| 最小线宽 | ≤8纳米 |
| 束流 | 50 pA 至 400 nA |
| 扫描速度 | 200MHz（最大） |
| 载物台位置读取分辨率 | 015纳米 |
| 像差校正 | 偏转焦点偏转散光偏转失真 |
| 最大材料尺寸 | 300毫米晶圆9英寸(英寸)面罩 |
| 功耗 | 正常 5 kVA |
| 标准足迹 | 74 m × 53 m × 27 m（高） |
| 配置（部分摘录） |
|---|
| 基本渲染设备 |
| 10页纸盒传输系统 |
| 控制CPU系统 |
| 控制程序 |
| 数据准备程序 |
| 选项（部分摘录） |
|---|
| 光学显微镜 |
| 晶圆传输系统（兼容 300 毫米晶圆 FOUP） |
| 晶圆传输系统（兼容 200 毫米晶圆） |
| 48kV高压应用方案 |
| 各种磁带 |
| 兼容 SECS/GEM 通信 |
*也可提供其他等级型号。请随时与我们联系。
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