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功能

这是新一代 SEM，通过配备新开发的超级混合镜头 (SHL)，在低加速电压下实现高分辨率，同时保持高可操作性。 The electron gun uses an in-lens Schottky field emission type, allowing stable analysis with a large irradiation current

使用超级混合镜头 (SHL) 进行高分辨率观察

物镜采用叠加静磁场和静电场的超级混合透镜（SHL）。通过减少色差和球差，分辨率在低加速电压下得到特别提高。 In addition, since SHL does not have any magnetic field influence on the sample, observation of magnetic materials and EBSD measurements can be performed without any problems

Energy selection at low acceleration voltage

能量过滤器直接连接在上部探测器 (UED) 的下方，以便进行能量选择。 Since secondary electrons and backscattered electrons can be separated with high accuracy even at low accelerating voltages, it is possible to observe the composition of the outermost surface of the sample using backscattered electron images at low accelerating voltages

Top surface observation using gentle beam (GB)

通过对样品 (GB) 施加偏压，它可以使入射ty8天游官网登录减速并加速发射ty8天游官网登录。低试料到达エネルギーにおいても高分割能でSN比の良い图像が实现可能です。通过使用可以施加更高偏压的 GB 模式，可以在样品达到能量为数十eV。

Acquisition of all information about the sample using multiple detectors

ty8天游官网登录7800F can be equipped with four types of detectors: Upper Detector (UED), Upper Secondary Electron Detector (USD), Backscattered Electron Detector (BED) and Lower Detector (LED) UED can change the amount of secondary electrons and reflected electrons depending on the filter voltage, making it possible to select the energy of electrons USD 检测被过滤器弹回的低能电子。使用 BED，可以通过检测低角度的反向散射电子来清楚地观察沟道对比度。使用 LED，您可以获得具有三维效果的图像，其中包括由于照明效果而产生的不均匀信息。

Application example

低加速电圧での観察
ty8天游官网登录7800F 可以在 GB 模式下从 10eV 处观察到样品达到能量。在这里，我们将样品到达能量设置为 80 eV，并展示了观察一个原子厚度的石墨烯片表面的示例。

Sample: Graphene, reached energy 80eV

Energy sorting
UED 和 USD 可以同时获取背散射ty8天游官网登录图像（左图）和二次ty8天游官网登录图像（右图），从而实现高精度的图像解释。在二次ty8天游官网登录图像中，不均匀信息占主导地位，金颗粒和TiO2之间的对比度没有差异，但在背散射ty8天游官网登录图像中，平均原子序数高的金颗粒显得更亮。

背散射ty8天游官网登录图像

样品：金载 TiO2 催化剂 (2kV)

二次ty8天游官网登录图像

使用 GBSH 进行观察
通过使用 GBSH 对样品施加高偏压，可以进一步减少像差，实现高分辨率观察。 The micropores in the mesopores of mesoporous silica can be clearly observed (see the figure below)

Sample: Mesoporous silica Sample reaching energy: 1keV

磁性材料的观察
SHL 是一种抑制磁场泄漏的物镜。这使得即使在低能级下也可以轻松地对磁性材料进行高分辨率观察。

試料：マグネタイトナノ粒子　試料到達エネルギー：1keV

EBSD measurement of magnetic materials
SHL is also suitable for EBSD as it is not affected by magnetic field leakage As shown in the figure below, the orientation of crystal grains can be confirmed with high accuracy using the IPF Map

积分：118585
尺寸：
X Max: 8000 microns, Y Max: 7989 microns
步长：025微米
相：Nd2Fe14B

从样品中获得的 EBSD 图案示例
(任意の点で取得)

规格/选项

分辨率	08 nm(15 kV) 12 nm(1 kV) 30 nm（15kV，5nA，WD10mm）
放大倍数	×25～×1,000,000(SEM)
加速电压	001kV～30kV
样品照射电流（探头电流）	几 pA 至 200nA
Automatic aperture angle optimization lens	组込み
探测器	上部探测器（UED）下方検出器(LED)
エネルギーフィルター	内置UED滤波器电压可变功能
柔和的光束（样本偏差）	内置
数字图像	1,280×960像素、800×600像素
样品交换室	配置 TYPE2A
試料ステージ	Full eucentric goniometer, 5-axis motor drive
X-Y	X：70毫米，Y：50毫米
坡度	－5～＋70°
Rotation	360°
Working distance	2mm～25mm
排気系	2 SIPs, TMP, RP
节能设计	Normal operation: 11 kVA 节能模式下：08 kVA