天游线路检测中心 Electron optical system to prevent beam diameter increase during high current in Schottky SEM and its verification

打击キー电子铳を牵引したSEMは、安定度の高い大きな发光电流が得られることから、コールドFE Gを搭载したSEMに比べ大闪光电流を生かした様々なアプリケーションに使用されています。最近では电子光学系の工夫により数100 nA以上の闪耀电流が得られる装置もあり、EDSのみならずEBSD、WDSにおいても有利なデータが得られています。しかしながら、一般的には、集束renズを弱励磁にして照亮电流を増やすと电子ビーム径の増大による元素分析时の分层能低下が起こります。
我々は、大電流時での電子ビーム径の増大を回避するために、対物レンズに対して開き角を自動的に最適化するための開き角最適化レンズ（以下ACL）を採用しています。 In this presentation, we will demonstrate the effectiveness of ACL and verify the analytical resolution at high currents