天游线路检测中心基SEM中防止大电流时光束直径增大的电子光学系统及其验证

配备天游线路检测中心基电子枪的 SEM 与配备冷 FEG 的 SEM 相比，可用于各种利用大照射电流的应用，因为它们可以提供高度稳定的大照射电流。近年来，由于电子光学系统的改进，出现了可以获得数百nA以上的照射电流的装置，不仅可以在EDS中获得有用的数据，还可以在EBSD和WDS中获得有用的数据。然而，一般来说，如果聚焦透镜被弱激发并且照射电流增大，则元素分析时的分辨率会由于电子束直径的增大而降低。
我们使用孔径角优化透镜（以下简称ACL）来自动优化相对于物镜的孔径角，以避免使用大电流时电子束直径的增加。在本次演讲中，我们将演示 ACL 的有效性并验证高电流下的分析分辨率。