这是一款高规格俄歇电子能谱仪，配备静电半球分析仪，可对纳米至微米范围内的化学键态进行高通量分析，以及提供稳定大电流的场发射电子枪，也用于EPMA。配备高精度优心样品台和浮动离子枪，实现了以前认为不可能的绝缘体分析，无论样品如何，从金属样品到绝缘体样品，从成分信息到化学信息，它实现了多功能性。
功能
“高灵敏度/高分辨率分析仪”
配备可变能量分辨率的分析仪，既实现了高分辨率模式下的化学键态分析，又实现了高灵敏度模式下的高速作图。
“肖特基场发射电子枪”
通过将同样用于SEM和EPMA的肖特基场发射电子枪与JEOL多年来培育的电子光学技术相结合，该电子枪实现了3 nm空间分辨率的图像观察和使用200 nA大电流的高通量化学键态分析。
“同心样品台
使用对具有多个光学系统的分析仪器至关重要的优心载物台，通过单次高度调节即可实现高精度的高度中心重复性。高达 90° 的自由倾斜使困难的绝缘分析成为可能。
“高耐用性”
以长寿命为目标的设计理念，由于更换了离子枪灯丝和电子枪发射器，降低了运行成本。
“软件”
通过使用波形分离软件，只需单击一下即可分离出困扰分析人员的俄歇峰重叠，还可以分析复杂的化学键状态。
通过使用地图重建软件，您可以执行各种分析，例如测量后重置 P/B 以及在积分过程中跟踪随时间的变化。
规格/选项
| 电子辐照系统 | |
|---|---|
| 二次电子分辨率 | 3nm（25kV，10pA） |
| 俄歇分析的最小探头直径 | 8nm（25kV，1nA） |
| 电子枪 | 肖特基场致发射型 |
| 加速电压 | 05～30kV |
| 探头电流 | 10-11～2×10-7A |
| 放大倍数 | 25至500,000次 |
| 俄歇电子能谱仪 | |
| 分析器 | 静电半球分析仪 (HSA) |
| 能量分辨率 (ΔE/E) | 0.05％～0.6％ |
| 灵敏度 | 840,000cps（7 通道检测器）铜-LMM，10kV，10nA |
| 探测器 | 通道多重检测 |
| 离子枪 | |
| 加速电压 | 001～4kV |
| 离子电流 | 3kV时2μA以上（吸收电流值），10V 时 003μA 或以上 |
| 中和功能 | 内置 |
| 样品台 | |
| 移动范围 | XY轴：±10mm，Z轴：±6mm T轴：0~90°，R轴：360°（无限） |
| 样本大小 | 最大20mmφ×5mmH |
| 真空排气系统 | |
| 样品室极限压力 | 5×10-8Pa 或更低 |
| 烘烤系统 | 内置内部加热器，自动控制 |
| 申请 | |
| 数据收集 | 光谱、深度剖面、线剖面、俄歇图像、二次电子图像、广域图分析（可选），调度分析（可选） |
| 数据处理 | 定性/定量分析，微分/平滑，图像处理、文本输入、峰分离软件（可选） |
外观和规格如有更改，恕不另行通知。
可扩展性
提供端口添加以下功能，因此可以支持多种分析。
大型样品台（兼容95mmφ圆盘）
停车装置示例
样品冷却断裂装置
加热装置样品
背散射电子探测器
能量色散X射线光谱仪(EDS)
电子背散射衍射装置（EBSD）
申请
与 JAMP-9500F 相关的应用
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