天游ty8检测中心 俄歇测绘所需的电子束照射条件

俄歇图的空间分辨率大约等于照射电子束的束直径，因此认为在相同照射条件下，空间分辨率将与二次电子图像的空间分辨率相同。因此，高加速度和低电流的照射条件被认为是最佳的，但在这种照射条件下，俄歇峰强度变小，测量时间变长，这实际上可能会恶化绘图质量。因此，为了研究适合10万倍以上高倍俄歇测绘的照射条件，我们研究了在沉积有Au颗粒的HOPG上，元素C的测绘图像随着加速电压10～30kV、照射电流1～10nA的变化而变化。然而，为了获得具有相同信噪比的映射图像，积分次数被设置为与照射电流成反比。