天游线路检测中心测绘所需的电子束照射条件

天游线路检测中心图的空间分辨率大约等于照射电子束的束直径，因此认为在相同照射条件下，空间分辨率将与二次电子图像的空间分辨率相同。因此，高加速度和低电流的照射条件被认为是最佳的，但在这种照射条件下，天游线路检测中心峰强度变小，测量时间变长，这实际上可能会恶化绘图质量。因此，为了研究适合10万倍以上高倍天游线路检测中心测绘的照射条件，我们研究了在沉积有Au粒子的HOPG上，元素C的测绘图像随着加速电压10~30kV、照射电流1~10nA的变化而变化。ただし、同じ S/N比のマッピング像を得るため、照亮电流に反比例した积算回数に设定しました。