天游线路检测中心 使用最新静电半球分析仪进行纳米区域俄歇测绘 (1)

高空间分辨率俄歇测绘 - 硅晶圆上的银纳米粒子 -

俄歇分析传统上具有高空间分辨率，是一种在分析大块表面时擅长分析微小区域的方法。配备场致发射型电子枪，纳米范围内的分析变得更加容易，分析仪的灵敏度提高，即使在数nA的照射电流下也可以进行俄歇分析。
在这里，我们展示了以 500,000 倍的放大倍数分析分散在 Si 晶片上的直径约为 10 nm 的 Ag 纳米颗粒的结果。可以看到大约10 nm的颗粒间间隙，表明映射的空间分辨率小于10 nm。