天游线路检测中心 螺旋微探针 JAMP-9500F(2)
俄歇微探针是一种表面分析装置，通过用电子束照射样品并测量从样品产生的俄歇电子的能量来分析距表面几纳米深度的成分和化学状态。俄歇微探针的分析面积由电子束的探针直径决定，因此具有空间分辨率高的特点。近年来，为了分析更小的区域，配备肖特基场发射电子枪（FEG）的设备已成为主流。JAMP-9500F 是一款场发射俄歇微探针，利用肖特基型 FEG 和独特的电子光学系统实现高电流和高空间分辨率。能量分析仪采用静电半球分析仪、多通道多重检测器和针对俄歇分析优化的输入透镜，以获得高灵敏度和高能量分辨率的光谱。此外，传统上难以分析的绝缘体可以通过使用中和枪中和电荷来分析。
5离子蚀刻枪
离子蚀刻枪用于清洁样品表面和深度分析，但它们也可用于通过用数十电子伏特的离子照射绝缘体来中和绝缘体上的电荷。 为了使用离子蚀刻枪作为中和枪，需要在低能量区域获得高离子电流密度。浮动离子蚀刻枪（FMIED）通过在高于加速电压的电压下加速和提取离子来提高离子电流密度。
图 4 显示了 FMEID 和传统类型的离子电流密度相对于离子能量的变化。FMEID 可以通过用 20eV 或更低的离子照射样品来中和电荷，而不会溅射样品。
6样品阶段
JAMP-9500F 兼容大型样品台，可对 95mmφ 圆盘样品的整个表面进行观察和分析。样品台是5轴电机驱动的同心测角仪台，因此即使样品倾斜，视野也不会移动，并且旋转中心校正功能允许在任意位置旋转样品的同时进行离子蚀刻。7可扩展性
JAMP-9500F的电子照射系统独立于俄歇分析系统进行控制，因此它也可以用作超高真空扫描电子显微镜（UHV-SEM）。此外，还提供端口用于连接电子背散射衍射装置（EBSD）、背散射电子探测器、能量色散X射线光谱仪（EDS）等，从而可以在超高真空下进行测量。8软件
虽然用于俄歇分析的软件保持了与传统 JAMP-7800 系列的兼容性，但它现在具有一项新功能，允许在任何位置和尺寸收集俄歇图像。这使您可以在短时间内或以更高的分辨率收集目标区域的俄歇图像。 图 7 显示了通过指定区域收集俄歇图像的示例。此外，摆动鼠标功能可以在观察屏幕和俄歇分析屏幕之间进行顺畅的操作。
图 5 按区域规格收集的俄歇图像（顶部：Ag，底部：Cu）
