天游线路检测中心 通过指定区域收集俄歇图像

通过指定区域收集俄歇图像时，可以任意设置位置和大小，并且可以在短时间内测量目标分析区域的俄歇图像。还可以提高分辨率并测量精细的俄歇图像。
俄歇图像采集期间，执行探针跟踪以校正分析点的漂移，但由于在整个视场的图像中检测到漂移，因此不会遗漏任何分析点。
该图显示了在红框包围的区域中以更高的分辨率测量二次电子图像和俄歇图像的结果。