实现环保冷却水供应！ 一体化风冷、冷却水循环装置，保持冷却水温度±1℃以内的高稳定性
介绍一种用于冷却场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）内部的风冷一体化供水装置。在FE-SEM图像观察中发挥作用，同时始终将冷却水温度保持在高度稳定。不是从客户的供水设备供应冷却水或冷却后排出来使用无限量的冷却水，而是将装置水箱中的冷却水专门循环用于FE-SEM内部的冷却，实现了环保的冷却水供应。这是FE-SEM油扩散泵排气系统的专用装置。
功能
冷却水循环降低运行成本
与使用供水设备的冷却水供应/排水的支流水冷却相比，降低了运行成本。
此外，我们采用了不使用加热器进行温度控制的方法，从而降低了功耗。
高精度控制冷却水温，保持装置内部的高稳定性
由于冷却水在将冷却水温度保持在±01℃的范围内的同时进行循环，因此电子显微镜的图像观察保持高稳定性。
具有延迟设备本身停止控制的功能
该设备标配联锁功能，接收来自设备本身的停止信号，并在延迟约 10 分钟后停止。操作人员也无需忘记关闭冷却水系统。
紧凑的设计使其安静并节省空间
该设备比传统设备更安静，可以在更小的空间内使用。
配备各种保护电路和增强的安全措施
除了水箱冷却水滴监控器等保护电路外，电源输入部分还安装了漏电断路器，以增强安全措施。
规格/选项
| 流通方式 | 闭式循环（一体化供水、制冷功能） |
|---|---|
| 温度调节范围 | 17～23℃ |
| 温度调节精度 | ±0.1℃ |
| 冷却能力 | 1,400 W (1,200 kcal/h) 在温度设定 20℃ |
| 水族箱材料 | SUS304 |
| 容量 | 10升 |
| 尺寸、重量 | 540mm（宽）x 575mm（深）x 680mm（高），约90kg |
| 额定电源 | AC100V（15A）50/60Hz |
适用产品
JSM-6330F、6335F、6340F、6500F、6700F，6701F
JSM-7000F,7001F,7400F，7401F
其他
对于上述适用型号的FE-SEM涡轮分子泵排气系统，该设备的姊妹设备SM-78170DCWC兼容。
更加紧凑、节省空间。
此设备符合 CE 标记。
| 兼容标准 | 安全测试 | IEC61010-1（第三版）：2010 |
|---|---|---|
| EMC测试 | EN61000-6-3:2007+A1:2011 | |
| EN61000-3-2:2006+A1:2009+A2:2009 | ||
| EN61000-3-3:2013 | ||
| EN61000-6-2:2005 |
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