带有能量滤波器的超高分辨率 FE-SEM，可直接观察绝缘体JSM-7401F是一款超高分辨率扫描电子显微镜，结合了高亮度锥形FE电子枪和低像差锥形物镜（半内镜）。通过提高整体稳定性（抗震性、电子稳定性），可以稳定获得1 nm的保证分辨率，从而可以在最大放大倍数100万倍下进行观察。它还具有信号选择功能，还可以获得样品表面纳米结构的特征。
功能
JSM-7401F是一款超高分辨率扫描电子显微镜，结合了高亮度锥形FE电子枪和低像差锥形物镜（半内镜）。
通过提高整体稳定性（抗震性、电子稳定性），可以稳定获得1 nm的保证分辨率，从而可以在最大放大倍数100万倍下进行观察。它还具有信号选择功能，还可以获得样品表面纳米结构的特征。
功能
高稳定性
最大放大倍数可达100万倍
高分辨率，极低加速电压
最小加速电压100V，二次电子分辨率15nm（1kV/GB模式）
能量过滤器
新的 r 滤波器，让您一键即可获得最佳条件
使用柔和光束进行观察而不损坏样品表面
支持各种观察分析
能量色散 X 射线光谱仪 (EDS)*
可伸缩背散射电子探测器*
镜头内背散射电子探测器*
透射电子探测器（TED）*
全自动照射系统
改变加速电压后无需机械对准
无需选择物镜光圈或对准轴
配备自动光圈角度优化镜头
舒适的操作性
1280×1024像素高清数字实时图像
高度可扩展的大型样品室
电机驱动的优心平台
舞台导航系统
清洁的样品观察环境
通过样品交换室进行样品交换
前线疏水阀安装
液氮捕集器（防止样品污染装置）*
一键样本交换机制
选项
柔和的光束在极低的加速电压下进行高分辨率观察
温和束 (GB) 模式是一种模式，其中入射电子在样品之前减速，以最大限度地减少对样品的损坏，并最大限度地减少向样品中的扩散，以观察样品的极端表面。
使样品前面的入射电子减速。加速的二次电子与New R滤波器的内壁碰撞并产生二次电子。
金气相沉积颗粒
聚合物晶体（无气相沉积）
新的 r 滤波器
新型r-滤波器是一种独特的能量滤波器，结合了二次电子控制电极、反射电子控制电极和滤波器电极。当用电子束照射样品表面时，从样品表面发射出具有各种能量的电子。通过组合多个静电场，JSM-7401F 选择性地检测来自样品的二次电子和反射电子，同时将入射电子保持在透镜系统的中心。
一键式最佳条件
新的 r 过滤器使用易于理解的菜单窗口进行操作。
菜单窗口上提供了SE、BE、Sb、Bs等按钮，可以从样品的表面信息到成分信息自由切换。 Sb和Bs按钮可以连续调整要混合的二次电子和背散射电子的能带，让您根据观察目的获得最佳对比度。
通过设置New-filter可以选择性地检测二次电子和背散射电子。
通过设置New-filter检测信号
各种模式下的信号检测
SE模式（二次电子检测）
SE模式是检测纯二次电子的模式。通过检测二次电子，可以观察由于边缘效应而导致的粗糙表面形状。
在照片(1)中，可以清楚地观察到W层和Al层的不均匀性。
(1)SE模式
BE 模式（背散射电子检测）
BE模式是主要检测背散射电子信号的模式。通过检测反射电子，可以获得基于成分差异的对比图像。
照片(2)中，原子序数高的W部分呈现白色，而在原子序数低的Al表面，SE模式下观察到的细微不规则现象不再可见，使得成分差异变得清晰。
(2)BE模式
Sb模式（二次电子优先）
Sb模式是基于二次电子信号(S)以任意比例混合背散射电子信号(b)的模式。
在照片（3）中，通过将来自背散射电子的组成信息添加到由二次电子创建的不均匀图像中，可以获得比单独的二次电子图像更清晰的边界表面图像。
(3)Sb模式
Bs模式（背散射电子优先）
Bs模式是基于背散射电子信号(B)以任意比例混合二次电子信号的模式。可以同时检测由于背散射电子引起的成分对比度图像和由于二次电子边缘效应引起的不均匀图像的信息。
在照片(4)中，您可以看到W的合成图像和Al的不均匀图像。
(4)Bs模式1kV半导体横截面
申请
与 JSM-7401F 相关的应用
JSM系列支持石棉纤维的观察和分析！ ：JSM-7401F、JSM-6480LA
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冷却水循环系统KNO-1400G
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