带有能量滤波器的超高分辨率 FE-SEM,可直接观察绝缘体JSM-7401F是一款超高分辨率扫描ty8天游线路检测中心显微镜,结合了高亮度锥形FEty8天游线路检测中心枪和低像差锥形物镜(半内镜)。通过提高整体稳定性(抗震性、ty8天游线路检测中心稳定性),可以稳定获得1 nm的保证分辨率,从而可以在最大放大倍数100万倍下进行观察。它还具有信号选择功能,还可以获得样品表面纳米结构的特征。
功能
JSM-7401F是一款超高分辨率扫描ty8天游线路检测中心显微镜,结合了高亮度锥形FEty8天游线路检测中心枪和低像差锥形物镜(半内镜)。
通过提高整体稳定性(抗震性、ty8天游线路检测中心稳定性),可以稳定获得1 nm的保证分辨率,从而可以在最大放大倍数100万倍下进行观察。它还具有信号选择功能,还可以获得样品表面纳米结构的特征。
功能
高稳定性
最高可放大100万倍观察
高分辨率,极低加速电压
最小加速电压100V,二次ty8天游线路检测中心分辨率15nm(1kV/GB模式)
能量过滤器
新的 r 滤波器,让您一键即可获得最佳条件
使用柔和光束进行观察而不损坏样品表面
支持各种观察分析
能量色散 X 射线光谱仪 (EDS)*
可伸缩背散射ty8天游线路检测中心探测器*
镜头内背散射ty8天游线路检测中心探测器*
透射ty8天游线路检测中心探测器 (TED)*
全自动照射系统
改变加速电压后无需机械对准
无需选择物镜光圈或对准轴
配备自动光圈角度优化镜头
舒适的操作性
1280×1024像素高清数字实时图像
大型可扩展样品室
电机驱动的优心平台
舞台导航系统
清洁的样品观察环境
通过样品交换室进行样品交换
前线陷阱集成
液氮捕集器(防止样品污染装置)*
一键式样本交换机制
选项
柔和的光束在极低的加速电压下进行高分辨率观察
温和束 (GB) 模式是一种模式,其中入射ty8天游线路检测中心在样品之前减速,以尽量减少对样品的损坏,并尽量减少向样品中的扩散,以观察样品的极端表面。
使样品前面的入射ty8天游线路检测中心减速。加速的二次ty8天游线路检测中心与New R滤波器的内壁碰撞并产生二次ty8天游线路检测中心。
金气相沉积颗粒
聚合物晶体(无气相沉积)
新的 r 滤波器
新型r-滤波器是一种独特的能量滤波器,结合了二次ty8天游线路检测中心控制电极、反射ty8天游线路检测中心控制电极和滤波器电极。当用ty8天游线路检测中心束照射样品表面时,从样品表面发射出具有各种能量的ty8天游线路检测中心。通过组合多个静电场,JSM-7401F 选择性地检测来自样品的二次ty8天游线路检测中心和反射ty8天游线路检测中心,同时将入射ty8天游线路检测中心保持在透镜系统的中心。
一键式最佳条件
新的 r 过滤器使用易于理解的菜单窗口进行操作。
菜单窗口上提供了SE、BE、Sb、Bs等按钮,可以自由地从样品的顶面信息切换到成分信息。 Sb和Bs按钮可以连续调整要混合的二次ty8天游线路检测中心和背散射ty8天游线路检测中心的能带,让您根据观察目的获得最佳对比度。
通过设置New-filter选择性地检测二次ty8天游线路检测中心和背散射ty8天游线路检测中心。
通过设置New-filter检测信号
各种模式下的信号检测
SE模式(二次ty8天游线路检测中心检测)
SE模式是检测纯二次ty8天游线路检测中心的模式。通过检测二次ty8天游线路检测中心,可以观察由于边缘效应而导致的粗糙表面形状。
在照片(1)中,可以清楚地观察到W层和Al层的不均匀性。
(1)SE模式
BE 模式(背散射ty8天游线路检测中心检测)
BE模式是主要检测背散射ty8天游线路检测中心信号的模式。通过检测反射ty8天游线路检测中心,可以获得基于成分差异的对比图像。
照片(2)中,原子序数高的W部分呈现白色,而在原子序数低的Al表面,SE模式下观察到的细微不规则现象不再可见,使得成分差异变得清晰。
(2)BE模式
Sb模式(二次ty8天游线路检测中心优先)
Sb模式是基于二次ty8天游线路检测中心信号(S)以任意比例混合背散射ty8天游线路检测中心信号(b)的模式。
在照片(3)中,通过将背散射ty8天游线路检测中心的成分信息添加到二次ty8天游线路检测中心创建的不均匀图像中,可以获得比单独的二次ty8天游线路检测中心图像更清晰的边界表面图像。
(3)Sb模式
Bs模式(背散射ty8天游线路检测中心优先)
Bs模式是基于背散射ty8天游线路检测中心信号(B)以任意比例混合二次ty8天游线路检测中心信号的模式。可以同时检测由于背散射ty8天游线路检测中心引起的成分对比度图像和由于二次ty8天游线路检测中心边缘效应引起的不均匀图像的信息。
在照片(4)中,您可以看到W的合成图像和Al的不均匀图像。
(4)Bs模式1kV半导体横截面
申请
与 JSM-7401F 相关的应用
高角度检测背散射ty8天游线路检测中心和低角度检测背散射ty8天游线路检测中心
JSM系列支持石棉纤维的观察和分析! :JSM-7401F、JSM-6480LA
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冷却水循环系统KNO-1400G
介绍一种用于冷却场发射扫描ty8天游线路检测中心显微镜(FE-SEM)装置内部的风冷一体化供水装置。它在FE-SEM图像观察中发挥作用,同时不断保持冷却水温度处于高度稳定。该系统不是使用客户供水设备无限供应的冷却水或冷却后排水,而是循环该设备水箱中的冷却水专门用于FE-SEM内部的冷却,从而可以提供环保的冷却水。这是FE-SEM油扩散泵排气系统的专用装置。
