即使在低加速电压下也具有高分辨率和强激发锥形透镜 FE SEM
这是配备了新开发的镜头的高性能设备，适用于半导体和其他材料的超精细加工、超细颗粒以及医疗和生物领域的高倍率观察。用户无需对准电子枪和透镜系统的新系统即可实现稳定的高性能。
规格/选项
| 分辨率 | 10纳米 |
|---|---|
| 加速电压 | 05～30kV |
| 放大倍数 | ×25～650,000 |
| 尺寸示例 | 150mmφ |
| 机芯示例 | X方向：70mm Y方向：50mm（电机驱动/手动可用）Z方向：15~25mm，倾斜：-5°~60°旋转：360°无限（电机驱动） |
应用
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冷却水循环系统KNO-1400G
介绍一种用于冷却场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）装置内部的风冷一体化供水装置。它在FE-SEM图像观察中发挥作用，同时不断保持冷却水温度处于高度稳定。该系统不是使用客户供水设备无限供应的冷却水或冷却后排水，而是循环该设备水箱中的冷却水专门用于FE-SEM内部的冷却，从而可以提供环保的冷却水。这是FE-SEM油扩散泵排气系统的专用装置。
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