使用高功率光学器件进行纳米结构 FE SEM 分析
高功率光学器件可以获得高达200nA的大电流，即使电子束能量较低且引出大电流时，也可以获得较小的探针直径。可以观察表面的纳米结构，并在几个 10 nm 范围内进行 EDS 分析。电子枪是全自动的，可以轻松设置最佳条件。物镜孔径允许以最小孔径进行高倍率观察的 EDS 分析和 EBSD 分析。计算机控制的Eucentric大样品台和在简单的操作屏幕上显示的高清数字实时图像确保了操作的舒适性。
规格/选项
| 分辨率 | 12nm |
|---|---|
| 加速电压 | 05～30kV |
| 放大倍数 | ×10～500,000 |
| 尺寸示例 | 150mmφ |
| 机芯示例 | X方向：70mm Y方向：50mm（电机驱动/手动可用）Z方向：3至41mm，倾斜：-5°至70°旋转：360°无限（电机驱动） |
申请
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