JSM-F100配备了成熟的镜内肖特基Plus场发射电子枪和电子光学系统Neo Engine，以及新开发的操作GUI“SEM Center”和应用AI（人工智能）的“LIVE-AI滤镜”，实现了高空间分辨率观察和可操作性。此外，通过标配我们自己的能量色散X射线光谱仪（EDS）并与SEM中心完全集成，您可以更轻松地获取从观察到元素分析的不间断数据。通过不断发展并结合高性能和易用性，我们的工作效率提高了 50% 以上，并在日常测量中实现了高吞吐量。
功能
新功能 SEM 中心/EDS 集成
新开发的操作GUI“SEM中心”和EDS分析完全集成，实现下一代可操作性。不仅操作简单，还能获得FE-SEM特有的高分辨率图像。它还配备了实时分析功能，可在观察过程中随时显示元素分析结果，使从观察到元素分析的数据获取更加轻松、高效。
新功能Zeromag功能
配备“Zeromag”，无缝连接光学图像和SEM图像，使快速、舒适地搜索视野成为可能。
新功能LIVE-AI滤镜（实时图像视觉增强器-AI）
配备新开发的 LIVE-AI（人工智能）滤镜，使实时图像更易于查看。与积分处理不同，它可以显示具有良好跟随性的实时图像，没有残像，使其成为寻找视野、调整焦点和像散的极其有效的滤镜。
（此功能是可选的。）
实时图像比较
样品：蚂蚁外骨骼，入射电压：05kV，探测器：SED
样品：铁锈，入射电压：1kV，探测器：SED
透镜内肖特基 Plus 场发射电子枪 (FEG)
通过结合电子枪和低像差聚光透镜实现了高亮度。可以有效地收集电子枪产生的电子，即使在低加速电压下也可以获得几pA到几十nA的照射电流，从而可以在不改变物镜孔径的情况下进行高分辨率观察、高速元素测绘和EBSD分析。
混合镜头 (HL)
配备混合镜头 (HL)，可以以高空间分辨率观察和分析从磁性材料到绝缘体样品的所有样品。
Neo 引擎（新型电子光学引擎）
配备Neo Engine（新电子光学引擎），这是一种新开发的下一代电光控制系统，集成了镜头控制系统和自动功能技术。即使改变电子光学条件，光轴也几乎没有偏差，大大提高了可操作性和观察精度，任何人都可以轻松发挥出装置的原始性能。该系统可以说是JEOL电光技术的结晶。
AFS・ACB
自动之前
自动之后
样品：碳上的锡纳米粒子
入射电压：15 kV，工作距离：2 mm，观察模式：BD，探测器：UED，放大倍数：x200,000
ACL（光圈优化镜头）
ACL（孔径优化镜头）安装在物镜上方，并在整个当前范围内自动优化物镜的孔径角。即使电流量发生变化，也会自动调整入射电子的扩散，因此始终可以获得最小的探针直径。从高分辨率观察到各种分析，即使照射电流变化很大，也可以顺利进行观察。
检测系统
最多可以使用 4 个探测器进行信号采集。除了标准的SED（二次电子探测器）和UED（上部探测器）之外，还可以选装RBED（可伸缩背散射电子探测器）和USD（上部二次电子探测器）。
■UED高角度背散射电子（成分/晶体信息）
■USD二次电子（表面形态信息）
■RBED背散射电子（成分/晶体/不规则性信息）
■SED二次电子/背散射电子（凹凸信息）
SMILE VIEW™ 实验室
SMILE VIEW™ Lab 可让您集中管理采集的数据，让您快速轻松地为从观察到分析的所有数据创建报告。
微笑导航
这是一个辅助工具，即使是第一次使用该设备或不确定其使用的人也可以轻松执行基本操作。
按照说明操作，然后单击 Smile Navi 中的图标链接 SEM 操作屏幕。由于必要的操作程序和按钮位置都显示在SEM操作屏幕上，因此您将来可以在没有Smile Navi的情况下学习操作。
（此功能是可选的。）
相关链接
新闻稿
推出新型肖特基场发射扫描电子显微镜 JSM-F100 - FE-SEM 分析智能的新水平，结合了高分辨率和可操作性 -
特殊样品持有者信息
规格/选项
规格
| 分辨率 (1 kV) | 13纳米 |
|---|---|
| 分辨率 (20 kV) | 09纳米 |
| 放大倍数 | 照片放大倍率：×10 至 ×1,000,000（以 128 毫米 × 96 毫米显示时）显示倍率：×27 至 ×2,740,000（显示面板 238 英寸（显示像素数 1,920 × 1,080）） |
| 加速电压 | 001～30kV |
| 辐照电流 | 数量 pA 至 300 nA (30 kV)数量 pA 至 100 nA (5 kV) |
| 标准探测器 | 上部探测器(UED)、二次电子探测器(SED) |
| 电子枪 | 透镜内肖特基 Plus 场发射电子枪 (FEG) |
| 光圈优化镜头 (ACL) | 内置 |
| 物镜 | 混合镜头 (HL) |
| 样品阶段 | 全中心测角仪阶段 |
| 机芯示例 | X：70毫米，Y：50毫米，Z：2~41毫米倾斜：-5~70°旋转：360° |
| 电机控制 | 5轴电机控制 |
| 样本大小（抽出） | 最大直径：170毫米最大高度：45 毫米（WD 5 毫米） |
| 长焦距（LDF）模式 | 内置 |
| EDS 功能 | 光谱分析定性分析/定量分析直线分析（水平直线分析、任意方向直线分析）元素映射、探针跟踪等 |
探测器详细信息（Dry SD™ 探测器规格）60 mm2 133 eV 或更低 B 到 U
| 检测元件区域 | 60毫米2 |
|---|---|
| 能量分辨率 | 133eV 或更低 |
| 可检测元素 | B～U |
| 数据管理功能/报告创建 | SMILE VIEW™ 实验室 |
主要选项
低真空功能
可伸缩背散射电子探测器 (RBED)
上部二次电子探测器（美元）
低真空二次电子探测器（LVSED）
透射电子探测器（STEM）
电子背散射衍射 (EBSD)
波长色散 X 射线光谱仪 (WDS)
软 X 射线发射光谱仪 (SXES)
阴极发光 (CL)
样品交换室
舞台导航系统
样品室相机
操作台
操作面板
轨迹球
微笑导航
实时人工智能滤镜
SMILE VIEW™ 地图
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