功能

功能1FE-SEM 独有的高分辨率图像

透镜内肖特基+场发射电子枪

通过结合电子枪和低像差聚光透镜实现高亮度。即使在低入射电压下也可以获得足够的照射电流，从而实现从高分辨率观察到光速元素映射分析的一切。

通用肖特基 FEG 透镜内肖特基 Plus FEG

混合镜头 (HL)

配备电磁场叠加型物镜“混合透镜（HL）”，可以以高空间分辨率观察和分析从磁性材料到绝缘体样品的所有样品。

普通模式 HL模式 BD模式

※BD（光束减速）：
通过向样品台施加高达 -2 kV 的偏置电压，入射电子在样品之前减速。空间分辨率和信噪比得到改善，特别是在低入射电压下。

可以观察 FE-SEM 特有的纳米结构。通过选择适合目的的观察条件和探测器，可以获得各种样品的独特SEM图像。

  • -10nm

    样品：碳上的 Pt 纳米粒子，入射电压：20kV，WD：2mm，观察模式：BD，探测器：UED

  • -10nm

    样品：灯泡引入线，入射电压：10 kV，工作距离：6 mm，观察模式：LV，检测器：LVBED

  • -10nm

    样品：密封胶带，入射电压：05 kV，WD：2 mm，观察模式：BD，检测器：UED

  • -10nm

    样品：小鼠肾小球超薄切片，入射电压：5kV，WD：4mm，观察模式：BD，探测器：RBED（对比度反转）

LV（低真空功能）*选项：
凭借其低真空功能，可以轻松地对易带电的样品进行从观察到分析的所有操作，无需导电涂层。

功能2创新可用性

集成光学图像、SEM 图像和 EDS 分析，可显着提高测量吞吐量。

Zeromag 从光学图像到 SEM 图像的无缝过渡实时分析在搜索视场时始终监控光谱

功能3光学图像、SEM图像和EDS分析结果自动链接
SMILE VIEW™ 实验室

与 JEOL 分析仪器使用的新数据管理系统“SMILE VIEW™ Lab”链接。对于数据管理、分析和报告生成很有用。

※ ACL（光圈优化镜头）：
孔径优化透镜位于物镜上方，可在整个电流范围（1 pA-300 nA）内自动优化物镜孔径角。即使电流量增加，入射电子的扩散也会受到抑制，并且始终保持最小探针直径。即使在大范围的照射电流变化下，从高分辨率观察到高电流条件下的分析，也可以平稳运行。

新功能

新功能 1SEM配备人工智能
实时 AI 滤镜（实时图像视觉增强器 - AI：LIVE-AI）*可选

配备新开发的 LIVE-AI（人工智能）滤镜，使实时图像更易于查看。与积分处理不同，它可以显示具有良好跟随性的实时图像，没有残像，使其成为搜索视野、调整焦点和散光时极其有效的过滤器。

实时图像比较

  • 正常时间
    -10nm
  • 使用 LIVE-AI 滤镜时
    -10nm

样品：蚂蚁外骨骼，入射电压：05 kV，探测器：SED

  • -10nm
  • -10nm

样品：铁锈，入射电压：1 kV，检测器：SED

新功能 2可自动测量大面积的蒙太奇

只需指定区域和条件，即可自动测量每个视野，并获得校正了位置偏差的大范围蒙太奇图像。通过对采集的蒙太奇图像进行数字缩放，可以跟踪样本的细节。此外，由于可以并行获得使用EDS的蒙太奇元素图，因此可以自动保存大量信息而无需操作员干预。

新功能 3支持各种样品的样品交换方式，还可以获得光学图像

标准配置包括适合大量样品交换的抽屉，还可以采集光学图像，使现场查找和数据管理更快、更容易。配备可选的样品交换室，可以快速、干净地装载和卸载样品。