天游线路检测中心 推出新型肖特基场发射扫描电子显微镜 JSM-F100 — FE-SEM 的分析智能达到新水平，兼具高分辨率和可操作性 —
发布时间：2019/08/05
天游线路检测中心（总裁兼首席运营官 Izumi Oi）开发了一款新型肖特基场发射扫描电子显微镜 JSM-F100，并于 2019 年 8 月开始销售。
开发背景
扫描电子显微镜（SEM）应用于多个领域，包括纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学，其应用范围日益扩大。此外，它们的用途广泛，从基础研究到制造现场和质量控制。因此，对更快地获取高质量数据以及更轻松地检查成分信息而不必担心分析的需求日益增长。
JSM-F100配备了成熟的镜内肖特基Plus场发射电子枪和电子光学系统Neo Engine，以及新开发的操作GUI“SEM Center”和应用AI（人工智能）的“LIVE-AI滤镜”，实现了高空间分辨率观察和可操作性。此外，我们的内部能量色散X射线光谱仪（EDS）作为标准安装，并与SEM中心完全集成，使得更容易不间断地获取从观察到元素分析的数据。通过不断发展并结合高性能和易用性，我们的工作效率提高了 50% 以上，并在日常测量中实现了高吞吐量。
主要特点
- 透镜内肖特基+场发射电子枪
通过结合电子枪和低像差聚光透镜实现高亮度。即使在低加速电压下也可以获得足够的照射电流，从而可以执行从高分辨率观察到高速元素映射分析的一切。 - 混合镜头 (HL)
配备电磁场叠加型物镜“混合透镜（HL）”，可以以高空间分辨率观察和分析从磁性材料到绝缘体样品的各种样品。 - Neo 引擎（新型电子光学引擎）
Neo Engine是最新的光电控制系统。自动功能的准确性大大提高，操作更加方便。 - 新功能：SEM中心·EDS集成
新开发的操作GUI“SEM中心”和EDS分析完全集成，实现下一代可操作性。不仅操作简单，还能获得FE-SEM特有的高分辨率图像。 - 新功能：Zeromag功能
配备“Zeromag”，无缝连接光学图像和SEM图像，使快速、舒适地搜索视野成为可能。 - 新功能 LIVE-AI 滤镜（实时图像视觉增强器-AI）
配备新开发的LIVE-AI（人工智能）滤镜，使实时图像更容易查看。与积分处理不同，该滤镜没有残像，可以显示具有良好跟随性的实时图像，使其成为寻找视场、调整焦点和像散的极其有效的滤镜。 （此功能是可选的。）
主要规格
| 分辨率 (1 kV) | 13纳米 |
|---|---|
| 分辨率 (20 kV) | 09纳米 |
| 加速电压 | 001 - 30 kV |
| 标准探测器 | 上部探测器(UED)、二次电子探测器(SED) |
| 电子枪 | 透镜内肖特基+场发射电子枪 |
| 辐照电流 | 数量 pA - 300 nA (30 kV) 数量 pA - 100 nA (5 kV) |
| 物镜 | 混合镜头 (HL) |
| 样品阶段 | 全正心测角台 |
| 机芯示例 | X：70毫米 Y：50毫米 Z：2至41毫米 倾斜：-5 至 70° 旋转：360° |
| EDS 探测器 | 能量分辨率：133 eV 或更低 可检测元素：B ~ U 检测元件面积：60 mm2 |
标准价格
71,000,000 日元起
计划销量
60 单位/年
