这是一种复合光束处理和观察装置，可以通过简单的操作对表面和内部进行3D成像和分析，并具有考虑到从FIB处理到SEM观察、EDS和EBSD分析的所有功能的最佳布局设计。
功能
目前在售的后续型号是JIB-4501
一台设备提供 3D 表面和内部图像及分析，操作简单
考虑从 FIB 处理到 SEM 观察、EDS 和 EBSD 分析的所有功能的最佳布局设计
通过 SEM 图像实时监控 FIB 的处理状态
标配自动处理配方，可实现无人值守的横截面样品制备
可安装多个注气系统，用于样品保护膜制备
低真空功能可防止非导电样品带电
规格/选项
FIB（聚焦离子束）
| 离子源 | Ga液态金属离子源 |
|---|---|
| 加速电压 | 1～30kV |
| 放大倍数 | ×30（视野搜索），×100至×300,000 |
| 图像分辨率 | 5nm（30kV） |
| 束流 | 05pA ~30nA（30kV 时） |
SEM（电子束）
| 加速电压 | 03～30kV |
|---|---|
| 放大倍数 | ×5～×300,000 |
| 图像分辨率 | 25nm(30kV) |
| 束流 | 1pA ~1uA |
| 样品台 | 测角仪平台X:76mm, Y:76mm, Z:5~48mm T:-10~90°, R:360° |
主要附件
EDS（能量色散 X 射线光谱仪）
EBSD（EBSD 系统）
CLD（阴极发光检测器）
SCS（暗室瞄准镜）
GIS（注气系统）
安装条件
| 电源 | 单相100V±10%、50/60Hz、3kVA、2kVA（2系统） |
|---|---|
| 接地端子 | D类接地（100Ω以下）1个 |
| 室温 | 18～25℃ |
| 湿度 | 60% 或更少 |
外观和规格如有更改，恕不另行通知。
申请
与JIB-4500相关的申请
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