天游线路检测中心 使用 FIB 的 TEM 样品制备方法：批量拾取法

使用拾取法的FIB进行TEM样品制备方法不需要事先进行材料处理，具有消除样品损失等许多优点，但也存在无法观察磁性材料、薄膜处理后无法返回FIB进行额外处理以及难以制备平面方向观察样品等缺点。在这篇评论中，我们将介绍一种克服这些缺点的批量取货方法。