在处理过程中用液氮冷却样品可以减少离子束造成的热损伤。冷却停留时间长，并具有减少液氮消耗的结构。可以在保持液氮的同时冷却样品，使其恢复到室温，并在短时间内将其取出。配备传输机构，可在不暴露于大气的环境中执行从处理到观察的所有操作。
功能
自动加工程序
高速加工和精加工均可编程。可以在短时间内生产出高质量的横天游8线路检测中心。此外，间歇加工程序允许在较低的加工温度下进行加工。
自动加工启动模式/自动冷却加工启动模式After reaching the set pressure value and cooling temperature, processing can be started automatically In addition, after the cooling process is completed, the temperature can be automatically returned to room temperature
间歇加工模式By repeating ion beam irradiation and stopping at regular intervals, it is possible to suppress the temperature rise of the sampleCan also be used in conjunction with the cooling function
整理模式高加速电压加工后，自动切换到低加速电压加工，可以在短时间内创建高质量的横天游8线路检测中心。对于制备晶体结构分析样品特别有效。
多功能舞台
通过选择各种功能支架，不仅可以扩展天游8线路检测中心铣削，还可以扩展平面铣削、旋转天游8线路检测中心铣削和离子束溅射镀膜功能。
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天游8线路检测中心铣削 
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标准天游8线路检测中心铣削使用高度耐用的屏蔽板，现在可以进行长时间研磨（约 8 小时），比传统屏蔽板长约 3 倍。 |
|---|---|
| 宽天游8线路检测中心铣削（可选）通过使用广域加工夹具，可以进行最大加工宽度为8毫米的天游8线路检测中心铣削。也可与冷却功能结合使用。 | |
| 精密加工对准天游8线路检测中心铣削（可选）通过使用专用的精密加工定位显微镜，您可以轻松地在高倍率下调整加工位置。 | |
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平面铣削（可选） 
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可以去除样品表面机械抛光造成的划痕和变形。 
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旋转天游8线路检测中心铣削（可选） 
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通过使用特殊的屏蔽材料，可以从360°方向用离子束照射样品，并进行天游8线路检测中心加工，减少条纹状加工痕迹。 
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离子束溅射涂层（可选） 
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使用离子束溅射方法可以实现高质量碳涂层。 
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| 铣削速度 | 500μm/h以上（加速电压8kV）※1 |
2小时平均值，Si当量，边距100μm
冷却功能
冷却效果
样品：镀锌钢板
正常处理（无冷却）加速电压4kV
Cooling processing (holder temperature -120°C)加速电压4kV
在正常加工（不冷却）的情况下，在铁和锌之间的界面处可以看到空隙，但是在冷却加工的情况下，没有观察到空隙。
利用温度调节机构进行冷却
样品：硅片粘合面
正常处理（无冷却）
冷却处理（保持温度-150°C）
Temperature control cooling (holder temperature -20°C)
在正常加工过程中，粘合剂会因热损坏而变形并出现较大的间隙。在-150°C 时，会发生过度冷却，并且在粘合剂和硅片包裹表面之间的界面处可以看到间隙，但通过温控冷却，则看不到间隙。
使用间歇处理、冷却功能和温度调节冷却功能支持各种样品处理
大气非暴露功能
使用转移容器，从处理到观察的一切都可以在不暴露于大气的环境中进行。
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规格/选项
| 标准规格 | ||
|---|---|---|
| 格式 | 天游8线路检测中心-19520CCP | |
| 离子加速电压 | 2～8kV | |
| 铣削速度 | 500μm/h以上（加速电压8kV）*1 | |
| 摆动功能示例*2 | ±30°自动摆动 | |
| 自动加工启动模式 | 〇 | |
| 自动冷却加工启动模式/自动室温回归模式 | 〇 | |
| Sample stage cooling temperature reached | -120°C 或更低 | |
| 冷却温度设定范围 | -120～0℃ | |
| 样品冷却 - 达到 100°C 的时间 | 60 分钟内 | |
| 样品冷却停留时间 | 超过 8 小时*3 | |
| 大气不曝晒功能 | 〇 | |
| 间歇加工模式 | 可以设置离子束照射时间和停止时间（ON：1至999秒，OFF：1至999秒） | |
| 整理模式 | 自动切换加工条件 | |
| 宽天游8线路检测中心铣削模式*4 | 最大加工宽度：8mm（选配：广域加工支架天游8线路检测中心-11730LMH） | |
| 最大可加载样本大小 | 天游8线路检测中心铣削 | 11mm（宽）x 8mm（长）x 3mm（厚）（标准配件样品架）25mm (width) x 15mm (length) x 10mm (thickness) (Option: Wide area machining holder 天游8线路检测中心-11730LMH) |
| 平面铣削 | 40mm (diameter) x 15mm (thickness) (option: large sample rotating holder 天游8线路检测中心-11550LSRH) | |
| 移动范围示例 | X轴：±6mm，Y轴：±25mm | |
| 如何操作 | 触摸屏，65 英寸显示屏 | |
| 处理对齐方法 | 用摄像头监控样品台*5即使在光学显微镜下也可以调整加工位置 | |
| 用于定位的相机放大倍率 | 大约。 x 70（在 65 英寸显示屏上） | |
| 用于处理观察的相机放大倍率 | 大约。 ×20 至 ×100（65 英寸显示屏） | |
| 外部监视器输出*6 | 定位相机和加工观察相机可以切换并显示在外部监视器上（当安装EC-10020VST时） | |
| 预设功能 | 预设4组加工条件（加速电压、氩气流量、加工时间、间歇加工） | |
| 尺寸/质量 | 正文 | 690mm（宽）x 720mm（深）x 530mm（高），约75kg |
| 旋转泵 | 120mm（宽）x 2885mm（深）x 163mm（高），约93kg | |
安装条件
| 电源 | 单相AC100～120V，50/60Hz，允许输入电压波动10%以下，设备额定值15A以上 |
|---|---|
| 最大功耗 | 650VA |
| 接地端子 | D 类接地（100Ω 或更小） |
| 氩气*7 | 推荐纯度 999999% 或更高工作压力：01~02MPa (10~20kgf/cm2) 软管连接端口：JIS B 0203 Rc 1/4 |
| 室温 | 15～25℃ |
| 湿度 | 60% 或更低（无冷凝） |
2小时平均值，Si当量，边距100μm
专利号：4557130
设定温度越高，冷却停留时间越长。
可与冷却功能结合使用。
专利号：4208658
如果安装 EC-10020VST，则可以将摄像头屏幕输出到外部显示器。请提供您自己的外接显示器。
氩气、气瓶和调节器必须由客户提供。
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