在处理过程中用液氮冷却样品可以减少离子束造成的热损伤。具有较长的冷却停留时间并具有减少液氮消耗的结构。可以在保持液氮的情况下冷却样品，使其恢复到室温，并在短时间内将其取出。配备传输机构，可在不暴露于大气的环境中执行从处理到观察的所有操作。
功能
自动加工程序
高速加工和精加工均可编程。可以在短时间内生产出高质量的横截面。此外，间歇加工程序允许在较低的加工温度下进行加工。
自动加工启动模式/自动冷却加工启动模式一旦达到设定的压力值和冷却温度，即可自动开始加工。另外，冷却过程完成后，温度可自动恢复至室温。
间歇加工模式通过重复离子束照射并定期停止，可以抑制样品的温度升高。也可与冷却功能结合使用。
整理模式高加速电压加工后，自动切换到低加速电压加工，可以在短时间内创建高质量的横截面。对于制备晶体结构分析样品特别有效。
多功能舞台
通过选择各种功能支架，不仅可以扩展截面铣削，还可以扩展平面铣削、旋转截面铣削和离子束溅射镀膜功能。
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截面铣削 
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标准型材铣削使用高度耐用的屏蔽板，现在可以进行长时间研磨（约 8 小时），比传统屏蔽板长约 3 倍。 |
|---|---|
| 宽截面铣削（可选）通过使用广域加工夹具，可以进行最大加工宽度为8毫米的截面铣削。也可与冷却功能结合使用。 | |
| 精密加工对准截面铣削（可选）通过使用专用的精密加工定位显微镜，您可以轻松地在高倍率下调整加工位置。 | |
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平面铣削（可选） 
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可以去除样品表面机械抛光造成的划痕和变形。 
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旋转截面铣削（可选） 
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通过使用特殊的屏蔽材料，可以从360°方向用离子束照射样品，并进行截面加工，减少条纹状加工痕迹。 
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离子束溅射涂层（可选） 
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使用离子束溅射方法可以实现高质量碳涂层。 
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| 铣削速度 | 500μm/h以上（加速电压8kV）※1 |
2小时平均值，Si当量，边距100μm
冷却功能
冷却效果
样品：镀锌钢板
正常处理（无冷却）加速电压4kV
冷却处理（保持温度-120°C）加速电压4kV
在正常加工（不冷却）的情况下，在铁和锌之间的界面处可以看到空隙，但是在冷却加工的情况下，没有观察到空隙。
利用温度调节机制进行冷却
样品：硅片粘合面
正常处理（无冷却）
冷却处理（保持温度-150°C）
温控冷却（支架温度-20°C）
正常加工过程中，粘合剂因热损伤而变形，出现较大间隙。在-150°C 时，会发生过度冷却，并且在粘合剂和硅片包裹表面之间的界面处可以看到间隙，但通过温控冷却，则看不到间隙。
使用间歇处理、冷却功能和温度调节冷却功能支持各种样品处理
大气不曝晒功能
使用转移容器，从处理到观察的一切都可以在不暴露于大气的环境中进行。
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规格/选项
| 标准规格 | ||
|---|---|---|
| 格式 | IB-19520CCP | |
| 离子加速电压 | 2～8kV | |
| 铣削速度 | 500μm/h以上（加速电压8kV）*1 | |
| 摆动函数示例*2 | ±30°自动摆动 | |
| 自动加工启动模式 | 〇 | |
| 自动冷却加工启动模式/自动室温回归模式 | 〇 | |
| 达到样品台冷却温度 | -120°C 或更低 | |
| 冷却温度设定范围 | -120～0℃ | |
| 样品冷却 - 达到 100°C 的时间 | 60 分钟内 | |
| 样品冷却停留时间 | 超过 8 小时*3 | |
| 大气非暴露功能 | 〇 | |
| 间歇加工模式 | 可以设置离子束照射时间和停止时间（ON：1至999秒，OFF：1至999秒） | |
| 整理模式 | 自动切换加工条件 | |
| 宽截面铣削模式*4 | 最大加工宽度：8mm（选配：广域加工支架IB-11730LMH） | |
| 最大可加载样本大小 | 截面铣削 | 11mm（宽）x 8mm（长）x 3mm（厚）（标准配件样品架）25mm（宽）x 15mm（长）x 10mm（厚）（选配：广域加工支架 IB-11730LMH） |
| 平面铣削 | 40mm（直径）x 15mm（厚度）（选配：大样品旋转支架IB-11550LSRH） | |
| 移动范围示例 | X轴：±6mm，Y轴：±25mm | |
| 如何操作 | 触摸屏，65 英寸显示屏 | |
| 处理对齐方法 | 用摄像头监控样品台*5即使在光学显微镜下也可以调整加工位置 | |
| 用于定位的相机放大倍率 | 大约。 x 70（在 65 英寸显示屏上） | |
| 用于处理观察的相机放大倍率 | 大约。 ×20 至 ×100（65 英寸显示屏） | |
| 外部监视器输出*6 | 定位相机和加工观察相机可以切换并显示在外部监视器上（当安装EC-10020VST时） | |
| 预设功能 | 预设4组加工条件（加速电压、氩气流量、加工时间、间歇加工） | |
| 尺寸/质量 | 正文 | 690mm（宽）x 720mm（深）x 530mm（高），约75kg |
| 旋转泵 | 120mm（宽）x 2885mm（深）x 163mm（高），约93kg | |
安装条件
| 电源 | 单相AC100～120V，50/60Hz，允许输入电压波动10%以下，设备额定值15A以上 |
|---|---|
| 最大功耗 | 650VA |
| 接地端子 | D类接地（100Ω以下） |
| 氩气*7 | 推荐纯度 999999% 或更高工作压力：01~02MPa (10~20kgf/cm2) 软管连接端口：JIS B 0203 Rc 1/4 |
| 室温 | 15～25℃ |
| 湿度 | 60% 或更低（无冷凝） |
2小时平均值，Si当量，边距100μm
专利号：4557130
设定温度越高，冷却停留时间越长。
可与冷却功能结合使用。
专利号：4208658
如果安装 EC-10020VST，则可以将摄像头屏幕输出到外部显示器。请提供您自己的外接显示器。
氩气、气瓶和调节器必须由客户提供。
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