功能
功能
我们修改了流行的JSM-7610F的电子光学系统，进一步提高了分辨率（15kV 08nm、1kV 10nm），并将其更新为JSM-7610FPlus。
使用半透镜物镜和高功率光学照射系统，可以以高空间分辨率进行稳定的观察和分析。
此外，它还配备了使用 GENTLEBEAM™ 模式的低加速电压观察、使用 r 滤波器的信号选择以及可满足各种需求的扩展性。
半透镜物镜
半入式透镜在样品周围产生强磁场。
样品：碳载铂催化剂纳米粒子 加速电压：15kV
高功率光学器件
独特的电子光学系统，可进行高倍观察和各种分析。
日本电子专利专利号第4146103号
镜内肖特基场发射电子枪
镜内肖特基场发射电子枪通过将电子枪与低像差聚光透镜相结合，可以有效地收集从电子枪产生的电子。
光圈优化镜头 (ACL)
孔径优化透镜 (ACL) 放置在物镜上方，可在整个当前范围内自动优化物镜的孔径角。结果，即使当样品照射电流较大时，与传统方法相比，也可以获得更小的电子探针直径。
即使探头电流很大，探头直径也很小
即使是长期分析也具有高稳定性
镜内肖特基场发射电子枪提供稳定的电子探针。
GENTLEBEAM™ 模式
GENTLEBEAM™ 模式（GB 模式）向样品施加负电压，并在样品前面减速电子束，从而能够在低至 100V 的低加速电压下进行高分辨率观察。
GB模式的效果
GB 模式提高了低加速电压下的分辨率。
进化的低加速度分辨率
r-滤波器
下一代r-滤波器是一种独特的能量滤波器，结合了二次电子控制电极、反射电子控制电极和滤波器电极。当用电子束照射样品表面时，从样品表面发射出具有各种能量的电子。下一代 r 滤波器选择性地检测来自样品的二次电子和反向散射电子，同时通过组合多个静电场将电子束保持在透镜系统的中心。
如何使用下一代 R 滤波器检测信号
LABE 检测器（可选）
LABE（低角度BE）探测器可以探测低角度背散射电子。
LABE 探测器的低角度背散射电子图像
通过使用LABE探测器在极低的加速电压下观察背散射电子图像，可以观察晶粒的沟道对比度。
可扩展性
能量色散X射线光谱仪（EDS）
高功率光学器件可以有效利用 EDS (SDD) 探测器即使在大电流下也不易饱和的特性。通过使用低加速电压和高电流，可以在短时间内测量高质量的映射。在这里，我们展示了可以在 2 分钟内分析 Ni 基底表面上非常薄的石墨烯。
基本型SDD 10mm2检测器可以在短短 30 秒内对约 100 nm 的多层膜的横截面进行分析。
波长色散 X 射线光谱仪 (WDS)
高功率光学器件可以利用 WDS 的特性，因为它允许小探针直径和高电流。
通过使用 WDS，可以检查 EDS 无法检测到的样品中的浓度差异。
阴极发光 (CL)
CL是当用电子束照射样品时发生的发光现象。样品产生的光被抛物面镜（聚光镜）聚焦并被检测。
以下数据是金刚石在1kV下的二次电子图像以及通过衍射光栅进行光谱分析的CL图像。通过在低加速电压下观察 CL 图像，可以以高分辨率看到金刚石表面的缺陷。
优化分析的样品室
样品室的设计使得二次电子探测器、背散射电子探测器、EDS、EBSD、WDS 和阴极发光探测器可以放置在其最佳位置。
二次电子探测器、EDS 和 EBSD 放置在可以同时观察倾斜样品的位置，从而可以同时观察和分析。
可安装多种分析设备。
相关链接
规格/选项
| 二次电子图像分辨率 | 08 nm（加速电压15 kV）10 nm（加速电压1 kV GB模式）08 nm（加速电压1 kV GBSH模式）*1 分析时30 nm（加速电压15 kV，WD8 mm，照射电流5 nA） | ||
|---|---|---|---|
| 放大倍数 | 照片放大倍率：×25 ~ 1,000,000（以120mm × 90mm显示时）显示放大倍数：×75 ~ 3,000,000（显示 1,280 × 960 像素时） | ||
| 加速电压 | 01 ~ 30kV | ||
| 照射电流数 | 数量 pA ~ 200nA | ||
| 电子枪 | 镜内肖特基场发射电子枪 | ||
| 镜头系统 | 聚光透镜 (CL)光圈优化镜头 (ACL)半透镜式物镜 (OL) | ||
| 样品阶段 | 全同心测角台，5轴电机驱动 | ||
| 移动范围示例 | 样品阶段标准 | 选项 | 选项 |
| I 型 A2X：70 毫米Y：50 毫米Z：10 至 40 毫米倾斜：-5 至 70°旋转：360°无限 | II 型X：110 毫米Y：80 毫米Z：10 ~ 40 毫米倾斜：-5 至 70°旋转：360°无限 | Ⅲ型X：140 毫米Y：80 毫米Z：10 ~ 40 毫米倾斜：-5 至 70°旋转：360°无限 | |
| 样品架 | 125mmφ×10mmh用、32mmφ×20mmh用 | ||
| 样品交换 | 一键交换机制 | ||
| 电子探测器系统 | 内置上部探测器 R 滤波器向下探测器 | ||
| 自动功能 | 聚焦、散光、亮度、对比度 | ||
| 图像观察用液晶显示器 | 屏幕尺寸23英寸宽最大分辨率 1,920 × 1,080 像素 | ||
| SEM控制系统 | PC IBM PC/AT 兼容计算机操作系统 Windows® 7 专业版*2 | ||
| 扫描、显示模式 | 全屏扫描、实际放大、有限区域扫描、2分割（不同放大倍率/不同图像），2分割宽屏显示，4个分区（同时实时显示4个信号），添加图像（4图像+添加图像），标尺 | ||
| 排气系统 | 电子枪室/中间室采用离子泵的超高真空干式排气系统样品室干式排气系统TMP排气系统 | ||
安装选项时
Windows 是 Microsoft Corporation 在美国和其他国家/地区的注册商标或商标。
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