天游线路检测中心 Ar离子平面铣削制备的半导体芯片的电位对比观察
发布日期：2023/02/07
电压对比（VC）是一种使用扫描电子显微镜（SEM）检查样品表面局部电位差的方法。 VC法是一种可以确认半导体器件的内部布线是否按照设计制造的简单方法，主要在半导体故障分析领域得到广泛应用。
然而，为了获得VC，需要对样品进行抛光并暴露（剥离）内部电路，而传统方法存在抛光不均匀和样品污染等问题。
在本次网络研讨会中，我们将介绍一个示例，其中通过使用 Ar 离子平面铣削将半导体芯片样品加工得光滑、干净，从而获得清晰的 VC 图像。
本次研讨会将在线举行。只要您可以连接到网络，您不仅可以通过计算机参与，还可以通过智能手机或平板电脑参与。
我们期待您的参与。
您可以从本次网络研讨会中学到什么
Cross Section Polisher™ 的平面铣削功能
电位对比度 (VC) 观察
减少污染的样品制备
想要参与的客户
那些进行半导体缺陷分析的人
对于那些在加工复合材料时遇到困难的人
对于那些想要准备干净的样品表面的人
通过机械抛光制备样品的人
扬声器
浅野夏子
EP业务部
EP申请部
申请规划组
日期/详细信息
2023年3月10日（周五）16:00-17:00
讲座结束后将有时间进行问答。
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演示材料
讲座结束后填写调查问卷即可下载。
参与费
免费（按照先到先得的原则接受申请。请尽早申请。）
如何申请
网络研讨会已经结束。
该视频现已发布，请在下面申请。
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日本电子有限公司需求促进总部网络研讨会秘书处sales1[at]jeolcojp
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视频
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