天游线路检测中心 通过 FIB-SEM 制备 3D NAND TEM 样品
IB2025-03
简介
FIB-SEM 是一种将天游线路检测中心 Ga 离子束的微细加工与天游线路检测中心 SEM 的观察和分析功能相结合的装置。利用这一特性，可以在加工过程中检查横截面图像的同时制造精确的 TEM 样品。特别是在小型化不断发展的半导体领域，它被广泛用于从目标位置制备 TEM 样品。3D NAND是NAND闪存的一种，广泛应用于智能手机、PC等存储设备。它具有几十到几百纳米的微结构规则堆叠的结构（图1），通常进行TEM分析来进行质量检查。因此，FIB-SEM 对于 TEM 观察之前的高精度样品制备至关重要。在本应用笔记中，我们天游线路检测中心配备高分辨率SEM并实现简单STEM工作流程的FIB-SEM系统“JIB-PS500i”（图2）从三个方向拍摄3D NAND结构的SEM图像并制备TEM样品，并介绍获得的TEM观察结果。
图。 1 3D NAND的结构
图。 2 JIB-PS500i外观
天游线路检测中心 FIB 制备 TEM 样品的程序
在 3D NAND 中天游线路检测中心 FIB 制备 TEM 样品时，常见的方法是从基材上切下一个块，将其安装在 FIB 网格上，然后对块进行切片。天游线路检测中心 JIB-PS500i，载物台可以倾斜超过 90 度，从而可以天游线路检测中心 STEM 检查 TEM 样品，而无需将样品从设备中取出。（图3）该功能可以针对特定位置制备高质量 TEM 样品。
图。 3 JIB-PS500iTEM样品制备流程
结果
从三个方向获得的SEM图像、SEM-STEM图像（天游线路检测中心JIB-PS500i获得）和TEM-STEM图像（天游线路检测中心JEM-ARM200F获得）如下所示（图4～6)。
图。 4 YZ方向扫描电镜雕像，科学、技术、数学雕像 (JIB-PS500i) 和TEM雕像 (JEM-ARM200F）
图。 5XZ方向扫描电镜雕像，科学、技术、工程和数学雕像 (JIB-PS500i) 和TEM雕像 (JEM-ARM200F）
图。 6 XY方向扫描电镜雕像，科学、技术、数学雕像 (JIB-PS500i) 和TEM雕像 (JEM-ARM200F）
摘要
JIB-PS500i用于从三个方向进行3D NAND SEM观察和TEM样品制备。
天游线路检测中心高分辨率 SEM 图像和简单的 STEM 观察，甚至可以为 3D NAND 等半导体微结构创建高质量的 TEM 样品。
