这是一款以通用分析为目标的高灵敏度天游8线路检测中心子能谱仪，具有从30μmφ到3mmφ的宽分析范围。
功能
微离子枪
这是一款高精度离子蚀刻枪，采用 JEOL 独特的天游8线路检测中心技术。由于蚀刻区域很窄，因此可以对同一样品进行重复测量。
混合输入透镜系统
不是聚焦X射线，而是可以任意改变检测区域，从而可以进行从微小区域到高区域的通用分析，而无需担心样品损坏。
用于表面分析的数据分析软件
除了传统的波形分离方法之外，我们还新加入了一种使用XPS和AES标准光谱库的真实光谱的波形分离算法。这使得操作员无需设置需要经验的复杂参数，即使是初学者也能分析复杂的化学键状态。
规格/选项
| 光谱分辨率和强度 | ||
|---|---|---|
| 标准 X 射线源Ag3d5/2天游8线路检测中心子峰，由 MgKα 辐射激发（300 W 转换）分析直径是通过线扫描刀口显示 16% 和 84% 强度的距离。 | ||
| 分析直径 | 09 eV | 115 eV |
| 宏 | 超过 900,000 cps | 超过 1,800,000 cps |
| 1mmφ | 超过 480,000 cps | 超过 900,000 cps |
| 02mmφ | 超过 50,000 cps | 100,000 cps 或更多 |
| 003mmφ | 1,500 cps 或更多 | 超过 3,000 cps |
| 标准 X 射线源（铝镁双靶）最大负载镁500W，铝600W单色X射线源Ag3d5/2天游8线路检测中心子能谱，用单色 AlKα 辐射激发（600 W 等效） | ||
| 强度 (cps) | 100,000 cps 或更多 | |
| 分辨率 (eV) | 065 eV | |
| 入射透镜 | 具有集成视场和角度限制光圈的磁场/电场型输入镜头 | |
| 探测器 | 多通道检测器 | |
| 能量扫描 | 0～1480 eV | |
| CAE方法 | 路径能量：5～200 eV | |
| CRR方法 | ΔE/E 015～05% | |
| 标准样品形状 | 10毫米×10毫米，厚度2毫米以内最多可同时安装6个分析位置最多可设置20个点 | |
| 对于大样本 | 最大90mmφ，厚度15mm以内 | |
| 移动范围示例 | X：0至50毫米，Y：0至18毫米，Z：-2至2毫米，T：-10至10° | |
| 排气系统 | 内置自动排气烘烤顺序 | |
| 主泵 | 200L/s离子泵 | |
| 辅助泵 | 1600L/s升华泵 | |
| 真空监视器 | 裸离子计 | |
| 烘烤机制 | 内置内部加热器 | |
| 分析室真空度 | 7×10-8 帕 | |
申请
与 JPS-9200 相关的应用
使用天游8线路检测中心子能谱仪进行MD（迷你盘）深度方向分析
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