天游线路检测中心 JPS-9200应用数据介绍(4)：TRXPS测量示例

全反射 X 線光電子分光法（Total reflection x-ray photoelectron spectroscopy,TRXPS）は照射 X 線の侵入深さが浅いため、従来の XPS に比べ、表面感度が高い、スペクトルのバックグラウンドが低いなどの優れた特徴があり、表面超微量状態分析、薄膜材料の表面数層の化学結合状態 ・ 島状成長 ・ 膜厚 ・Effective for analyzing interface conditions We will present the results of applying the TRXPS method to the analysis of the chemical bonding state of several layers on the surface of thin film materials