高吞吐量深度剖面
这是一款平衡性良好的光电子能谱仪，配备高速蚀刻枪和双阳极单色仪，多功能且价格低廉。
功能
“考夫曼型离子枪”
这是一款高速离子枪，可以以120nm/min的最大速率蚀刻10mmφ。其性能超越了离子铣削，可用于从表面清洁到深度剖析等多种用途。
“泛焦输入镜头系统
我们创建了一个高度可操作的系统，不需要分析仪器特有的样品定位和电子光学系统调整等繁琐的任务。
“用于表面分析的数据分析软件”
除了传统的波形分离方法之外，我们还采用了一种新的波形分离算法，该算法使用使用 XPS 和 AES 标准光谱库的真实光谱。这使得操作员无需设置需要经验的复杂参数，即使是初学者也能分析复杂的化学键状态。
规格/选项
| 灵敏度和分辨率 | |
|---|---|
| 用于标准 X 射线源3d 干净光滑的银样品5/2当光电子能谱被Mgkα激发时（300W转换） | |
| 强度 (cps) | 分辨率 (eV) |
| 540,000 | 0.90 |
| 1,800,000 | 1.15 |
| 5,000,000 | 1.8 |
| 用于单色 X 射线源当干净光滑的银样品的3d5/2光电子能谱被Alkα激发时（600W转换） | |
| 强度 (cps) | 65,000 |
| 分辨率 (eV) | 0.65 |
| X射线源 | |
| 标准 X 射线源（铝镁双靶） | |
| 最大负载能力 | 镁 500W铝 600W |
| 单色X射线源（X射线单色仪） | |
| 供电稳定性 | 1%以内 |
| 最大负载能力 | 铝600W |
| 能量分析仪和入口透镜系统 | |
| 入射透镜 | 3级柱面静电透镜 |
| 能量扫描法 | 恒定分析仪能量法 |
| 真空排气系统 | |
| 观察样本 | |
| 极限腔室压力 | 7×10-8Pa 或更低 |
| 排气系统 | 包括自动排气烘烤序列 |
| 主泵 | 200L/s离子泵 |
| 辅助泵 | 1600L/s升华泵 |
| 真空监视器 | 裸离子计 |
| 烘烤机制 | 内置内部加热器 |
| 样品交换室 | |
| 高速离子枪 | 内置 |
| 排气系统 | 内置自动排气顺序 |
| 主泵 | 260L/s涡轮分子泵 |
| 真空监视器 | 潘宁规 |
申请
与JPS-9010系列相关的应用
MALDI 应用：使用 SpiralTOF™ 通过激光解吸电离方法进行有机薄膜分析
使用 XPS 进行环境分析的示例：符合 WEEE/RoHS 的六价铬分析
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