JEM-2200FS 场发射透射电子显微镜|产品信息|日本日本株式会社

从基础知识到应用研究

JEM-2200FS是一款分析电子显微镜，配备有场发射电子枪作为光源和Ω型柱内能量滤波器。
该设备的过滤功能不仅可以对样品进行元素分析，还可以分析其化学键合状态。可以从零损失滤波器图像和能量选择图像中获得取决于观察目的的信息。

功能

柱内式欧米伽过滤器

由于优化的光学系统设计，使用无失真的柱内能量滤波器可以获得高精度的能量滤波器图像和能量损失光谱。

控制系统

电子枪、透镜、滤光片、测角台和排气系统等光学系统均由计算机控制。系统的高稳定性保证您始终获得良好的数据。

成像系统

通过采用具有 4 级中间镜头和 2 级投影镜头的新型成像系统，我们实现了能量过滤 TEM 图像和衍射图案在各种放大倍率和相机长度范围内的自由旋转。

压电控制测角仪

采用压电元件的新型测角仪平台可实现原子级的平滑场选择。

规格/选项

分辨率
版本※1	超高分辨率配置 (UHR)	高分辨率配置（人力资源）	样本高度倾斜配置（HT）	样品冷却配置 (CR)	高对比度配置（HC）
粒子图像格子图像	019纳米 01纳米	023纳米 01纳米	025纳米 01纳米	027纳米 014纳米	031纳米 014 纳米
能量分辨率	08 eV（零损耗半宽度）
加速电压	160kV、200kV※2
最小可变宽度能量转变	50V 最大 3,000 V（02V 步长）
电子枪
发射方式	ZrO/W(100)肖特基法
亮度	≧4×108A／厘米2·sr
真空度	×10-8霸令
探头电流	1 nm 探针处 05 nA
电源稳定性
加速电压	≦1×10-6／分钟
物镜电流	≦1×10-6／分钟
过滤当前	≦1×10-6/分钟
物镜
焦距	19毫米	23毫米	27毫米	28 毫米	39毫米
球差系数	05毫米	10毫米	14毫米	20 毫米	33毫米
色差系数	11毫米	14毫米	18 毫米	21毫米	30毫米
最小焦点可变量	10纳米	14纳米	18纳米	20纳米	52纳米
现货尺寸
TEM 模式	2～5纳米				7～30nm
EDS 模式	05～24纳米		10～24纳米	-	4～20纳米
NBD 模式			10～24纳米	-	-
CBD模式			10～24纳米		-
会聚电子衍射
会聚角(2α)	15~20 mrad或更多				-
进气角度	±10 °				-
放大倍数
MAG 模式	×2,000～ 1,500,000	×2,000～ 1,200,000	×1,500～1,000,000		×1,200～600,000
低磁力模式	×50～1,500
SA MAG 模式	×10,000～800,000	×8,000～ 600,000	×8,000～500,000		×5,000～ 400,000
能量选择图像有效视野大小	选择10eV时最终像面（胶片）上的直径80mm 选择 2eV 时最终像平面（胶片）上的直径为 25mm
摄像头
选区衍射	150～1,500mm	200～2,000毫米		250～2,500毫米	300～3,000毫米
EELS 分布
在狭缝上	12 μm／eV @ 200 kV
在最终图像平面上	50～300 μm／eV @ 200 kV
样板间
移动量(XY／Z)	2毫米／02毫米	2毫米／04毫米	2毫米／04毫米	2毫米／04毫米	2毫米／04毫米
倾斜角度 (X/Y)※3	±25°／±25°	±35°／±30°	±42°／±30°	±15°／±10°	±38°／±30°
倾斜角度(X)※4	±25°	±80°	±80°	±80°	±80°
EDS※5
立体角※6	013 sr			-	009 sr
外卖角度	25°			-	20°