锇等离子镀膜机是一种主要用于SEM样品的导电薄膜生产装置，采用“使用直流辉光放电的负辉光相区域的等离子成膜方法”。使用等离子体CVD法，可以在短时间内形成非晶锇导电性薄膜(锇涂层)。可以获得具有极其坚固和光滑表面的导电薄膜而不会对样品造成热损伤。除了标准的锇薄膜机构外，我们还拥有高度可扩展的阵容，包括使用萘的等离子体聚合膜机构、导电超薄膜形成机构、亲水处理机构和深层样品机构，可兼容SEM和TEM样品的各种预处理。
功能
关于锇薄膜
无颗粒感（锇薄膜为非晶态）
良好的包裹性（气化四氧化锇后形成的薄膜）
无热损伤（在室温下无需加热即可成膜）
无电子束损伤（金属锇的熔点为2,700°C）
无污染（在锇离子气氛中形成的膜）
等离子聚合膜（使用萘的碳氢化合物膜）
韧性（一种坚韧的膜，可以承受 FIB 中使用的镓离子）
无颗粒感（碳氢化合物等离子体聚合膜是无定形的）
良好的环绕性（气化萘后成膜）
无热损伤（在室温下无需加热即可成膜）
耐热性
绝缘
无电子束损伤
关于可操作性
全自动操作（只需设定膜厚并按启动按钮即可。人为膜厚误差和膜质误差极少，重现性极佳）
锇升华室/萘升华室可以安装和拆卸。 （密封结构允许冷冻储存）
可以查看锇/萘的剩余量（有小窗口可以查看剩余量）
成膜时间短（几纳米/几秒）
关于安全
全自动操作可防止人为错误。
安瓿是一种在升华室内破裂的安全结构。
联锁机构（将锇气体引入气体反应容器后，除非达到规定的真空度，否则气体反应容器内不会发生泄漏。并且，真空室打开时不能按下气体引入开关）
配备我们专有的锇捕集过滤器。明确环境标准并确保高水平的安全。
规格/选项
身体
| 类型 | 锇膜/等离子聚合膜两用型 |
|---|---|
| 型号 | OPC80T |
| 气体反应容器 | 玻璃容器160 (φ) × 105（高）毫米 |
| 最大样本量 | 44（宽）×44（深）×4（高）毫米或 32 (φ) × 14（高）毫米 |
| SEM样品台阴极电极 | 多类型电极10毫米φ× 2 件和15 毫米φ× 2 件和32 毫米φ×同时形成1片膜 |
| 产生的膜厚 | 几纳米到几百纳米 |
| 最小膜厚设置 | 超薄膜模式：01 nm ~，普通模式：1 nm ~ |
| 制作影片 | 锇薄膜/等离子聚合膜（萘） |
| 四氧化锇升华室 | 密封可拆卸结构，带有用于检查剩余量的窗口（拆卸后可冷冻保存） |
| 萘升华室 | 带加热器和剩余量确认窗的可拆卸结构 |
| 气体导入方法 | 四氧化锇晶体或者，通过在专用升华室中升华萘晶体来引入 |
| 电源 | 单相交流100V 50/60Hz 12A(包括旋转泵电源) |
| 外部尺寸 | 450（宽）×410（深）×390（高）毫米 |
| 质量 | 大约。 30公斤 |
旋转泵（带 OsO4 过滤器）
| 电源 | 交流100V 50Hz(60Hz) 550W |
|---|---|
| 满载电流 | 单相90A（84A） |
| 排气速度 | 200 升（240 升）/分钟 |
| 外部尺寸 | 170（宽）×520（长）×560（高）毫米 |
| 重量 | 大约。 31公斤 |
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