HPC-20 是一种用于电子显微镜的锇涂层装置。配备触摸屏和定序器控制，任何人都可以轻松地全自动在样品上进行导电膜沉积。采用空心阴极样品台，采用低压放电进行镀膜，对样品几乎无损伤。由于空心阴极内部产生均匀的高密度等离子体，因此无论样品的高度或材料如何，放置在圆柱体内的样品表面都会形成均匀厚度的Os膜。由于仅将所需量的锇气体注入空心阴极，因此消耗较低，并且未反应的气体被活性炭捕集器吸附和去除，抑制了有害气体释放到大气中。
功能
由于粒径小且具有优异的包裹性，因此对于高倍率观察和形状复杂的样品非常有效。超薄 Os 导电涂层还使其适用于 EBSD 分析、俄歇分析和 X 射线分析。
采用具有空心阴极样品台的专利低压放电CVD方法，以温和的方式在样品上涂覆金属锇。
仅在达到等离子体放电最佳真空度后的镀膜过程中注入锇气体，节省了晶体锇的消耗。
涂层操作是全自动的。只需将连接到 SEM 存根的样品放入空心阴极内，然后按下启动开关即可。
膜厚控制可通过时间、温度、电流进行微调。
规格/选项
规格
| 电源 | AC100V（单相100V 15A）带地线，使用三脚插头 |
|---|---|
| 设备尺寸 | 机身：（宽）470毫米×（深）400毫米×（高）412毫米旋转泵：(W)120mm × (D)290mm × (H)250mm |
| 设备重量 | 机身：25公斤旋转泵：11kg |
| 安装面积 | 500mm × 500mm 台式（1m以下） 旋转泵安装在地板上 |
| 样品室尺寸 | 内径120mm x 高77mm 硬质玻璃制成 |
| 样品台尺寸 | 98mm直径空心阴极内浮动安装 |
| 可用样本量 | 直径95mm×高度包括样品台45mm |
| 电极 | 阳极：φ110毫米阴极：内径φ108mm×深度35mm |
| 高压发生器 | DC850V可变，（负载电流最大25mA）数字电流表指示 |
| 真空排气系统 | 30L/min专用油回转泵，连接NW25软管包括排气锇气带 |
| 终极真空 | 3Pa以下 |
| 锇气体注入 | 通过程序控制与高压一起注射 |
| 气体介绍 | 世伟洛克 1/4” 连接 使用氩气或空气 针阀调节 |
| OSO4用法 | 1个1g安瓿约100次 |
| 自适应安瓿尺寸 | 厚度：φ128毫米以内高度：尺寸型60mm以下、安瓿型65mm以下 |
| 语言 | 包含日语/英语显示切换功能 |
选项
安瓿切割机构、附加连接锇捕集器、旋转泵箱、专用通风罩、膜厚控制程序
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