ty8天游线路检测中心 OPC-EVO 是一种主要用于 SEM 样品的导电薄膜制造设备,采用“使用直流辉光放电的负辉光相区域的等离子膜制造方法”。可以使用获得专利的DC等离子体CVD方法(在负辉光相区域内成膜)来形成导电锇薄膜。新安装的触摸屏提供用户友好且直观的操作性。即使是初次使用的用户也可以安全、轻松地使用它。
功能
EVO 中包含的新功能
触摸屏提供直观的操作性。触摸面板有日语和英语版本,解释了如何安装样品、如何安装/拆卸锇升华室以及如何完成工作。我们还会通知您维护ty8天游线路检测中心,例如何时更换机油和过滤器。
标准配备超薄膜形成机构(实现05 nm以上成膜且再现性良好的专利技术)。
自动运行,只需设定膜厚即可启动*自动操作可在正常模式下使用(3 nm 或以上)。使用超薄膜形成机构时,需要进行一些手动调整。
Equipped with lamination mode: Film formation can be set repeatedly Films up to 100 nm can be automatically formed by simply specifying the number of repetitions
Strengthen security by restricting users by setting a password
标配亲水处理机构(能够形成附着力更高的锇薄膜)。
规格/选项
机身
| 类型 | Osmium membrane type (touch panel type) |
|---|---|
| 型号 | OPC-EVO |
| 气体反应容器 | 玻璃容器 120 (φ) × 73(高)毫米 |
| 最大样本量 | 33(宽)×33(深)×4(高)毫米或 36 (φ) × 14(高)毫米 |
| Number of SEM sample stands installed | 10毫米φ× 7 件或 15 毫米φ× 4 件或 36 毫米φ× 1 件 |
| 产生的膜厚 | 超薄膜模式:01 nm ~,普通模式:1 nm ~ |
| 制作影片 | 05 nm 至数百 nm |
| 最小膜厚设置 | Ultra-thin film mode: 01 nm~, normal mode: 1 nm~ |
| 制作影片 | 锇超薄膜/锇薄膜 |
| 气体导入方法 | 四氧化锇晶体或者,通过在专用升华室中升华萘晶体来引入 |
| 四氧化锇升华室 | 有一个窗口,可以让您检查升华室中四氧化锇的剩余量可以在密封状态下安装/拆卸(取出后可冷冻保存在升华室中) |
| 气体导入方法 | 四氧化锇晶体在专用升华室中升华 |
| 电源 | 单相交流100V 50/60Hz 10A(包括旋转泵电源) |
| 外部尺寸 | 400(宽)×350(深)×330(高)毫米(不含凸部) |
| 质量 | 大约。 20公斤 |
旋转泵(带 OsO4 过滤器)
| 型号 | OPC-EVO-RP |
|---|---|
| 电源 | 交流100V 50Hz(60Hz) 200W |
| 满载电流 | 单相 56 A (48 A) |
| 排气速度 | 50升(60升)/分钟 |
| 外部尺寸 | 170(宽)×400(长)×580(高)毫米 |
| 质量 | 大约。 18公斤 |
选项
Osmium sublimation chamber OPC-ORV (one included with the main unit as standard)
四氧化锇安瓿
升华室运输容器RVT-1
O 形圈真空润滑脂 (05 毫升) VS-GR
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