锇等离子镀膜机 OPC-EVO 是一种主要用于 SEM 样品的导电薄膜制造设备，采用“使用直流辉光放电在负辉光相区域中的等离子膜制造方法”。可以使用获得专利的DC等离子体CVD方法（在负辉光相区域内成膜）来形成导电锇薄膜。新安装的触摸屏提供用户友好且直观的操作性。即使是初次使用的用户也可以安全、轻松地使用它。
功能
EVO 中包含的新功能
触摸屏提供直观的操作性。触摸面板有日语和英语版本，解释了如何安装样品、如何安装/拆卸锇升华室以及如何完成工作。我们还会通知您维护信息，例如何时更换机油和过滤器。
标准配备超薄膜形成机构（实现05 nm以上成膜且再现性良好的专利技术）。
自动运行，只需设定膜厚即可启动*自动操作可在正常模式下使用（3 nm 或以上）。使用超薄膜形成机构时，需要进行一些手动调整。
配备堆叠模式：可重复设定成膜。只需指定重复次数即可自动形成高达 100 nm 的薄膜。
通过设置密码限制用户来增强安全性。
标配亲水处理机构（能够形成附着力更高的锇薄膜）。
规格/选项
正文
| 类型 | 锇膜型（触摸屏型） |
|---|---|
| 型号 | OPC-EVO |
| 气体反应容器 | 玻璃容器 120 (φ) × 73（高）毫米 |
| 最大样本量 | 33（宽）×33（深）×4（高）毫米或 36 (φ) × 14（高）毫米 |
| 安装的SEM样品台数量 | 10 毫米φ× 7 件或 15 毫米φ× 4 件或 36 毫米φ× 1 件 |
| 产生的膜厚 | 超薄膜模式：01 nm ~，普通模式：1 nm ~ |
| 制作影片 | 05 nm 至数百 nm |
| 最小膜厚设置 | 超薄膜模式：01 nm~，普通模式：1 nm~ |
| 制作影片 | 锇超薄膜/锇薄膜 |
| 气体导入方法 | 四氧化锇晶体或者，通过在专用升华室中升华萘晶体来引入 |
| 四氧化锇升华室 | 有一个窗口，可以让您检查升华室中四氧化锇的剩余量可以在密封状态下安装/拆卸(取出后可冷冻保存于升华室) |
| 气体引入方法 | 四氧化锇晶体在专用升华室中升华 |
| 电源 | 单相交流100V 50/60Hz 10A(包括旋转泵电源) |
| 外部尺寸 | 400（宽）×350（深）×330（高）毫米（不含凸部） |
| 质量 | 大约。 20公斤 |
旋转泵（带 OsO4 过滤器）
| 型号 | OPC-EVO-RP |
|---|---|
| 电源 | 交流100V 50Hz(60Hz) 200W |
| 满载电流 | 单相 56 A (48 A) |
| 排气速度 | 50升（60升）/分钟 |
| 外部尺寸 | 170（宽）×400（长）×580（高）毫米 |
| 质量 | 大约。 18公斤 |
选项
锇升华室OPC-ORV（主机标配一个）
四氧化锇安瓿
升华室运输容器RVT-1
O 形圈真空润滑脂 (05 毫升) VS-GR
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