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ty8天游线路检测中心
OPC-EVO(菲尔根制造)

ty8天游线路检测中心 OPC-EVO 是一种主要用于 SEM 样品的导电薄膜制造设备,采用“使用直流辉光放电的负辉光相区域的等离子膜制造方法”。
可以使用获得专利的DC等离子体CVD方法(在负辉光相区域内成膜)来形成导电锇薄膜。新安装的触摸屏提供用户友好且直观的操作性。即使是初次使用的用户也可以安全、轻松地使用它。

功能

EVO 中包含的新功能

  • 触摸屏提供直观的操作性。触摸面板有日语和英语版本,解释了如何安装样品、如何安装/拆卸锇升华室以及如何完成工作。
    我们还会通知您维护ty8天游线路检测中心,例如何时更换机油和过滤器。

  • 标准配备超薄膜形成机构(实现05 nm以上成膜且再现性良好的专利技术)。

  • 自动运行,只需设定膜厚即可启动
    *自动操作可在正常模式下使用(3 nm 或以上)。使用超薄膜形成机构时,需要进行一些手动调整。

  • Equipped with lamination mode: Film formation can be set repeatedly Films up to 100 nm can be automatically formed by simply specifying the number of repetitions

  • Strengthen security by restricting users by setting a password

  • 标配亲水处理机构(能够形成附着力更高的锇薄膜)。

规格/选项

机身

类型 Osmium membrane type (touch panel type)
型号 OPC-EVO
气体反应容器 玻璃容器 120 (φ) × 73(高)毫米
最大样本量 33(宽)×33(深)×4(高)毫米
或 36 (φ) × 14(高)毫米
Number of SEM sample stands installed 10毫米φ× 7 件或 15 毫米φ× 4 件或 36 毫米φ× 1 件
产生的膜厚 超薄膜模式:01 nm ~,普通模式:1 nm ~
制作影片 05 nm 至数百 nm
最小膜厚设置 Ultra-thin film mode: 01 nm~, normal mode: 1 nm~
制作影片 锇超薄膜/锇薄膜
气体导入方法 四氧化锇晶体
或者,通过在专用升华室中升华萘晶体来引入
四氧化锇升华室 有一个窗口,可以让您检查升华室中四氧化锇的剩余量
可以在密封状态下安装/拆卸
(取出后可冷冻保存在升华室中)
气体导入方法 四氧化锇晶体在专用升华室中升华
电源 单相交流100V 50/60Hz 10A
(包括旋转泵电源)
外部尺寸 400(宽)×350(深)×330(高)毫米(不含凸部)
质量 大约。 20公斤

旋转泵(带 OsO4 过滤器)

型号 OPC-EVO-RP
电源 交流100V 50Hz(60Hz) 200W
满载电流 单相 56 A (48 A)
排气速度 50升(60升)/分钟
外部尺寸 170(宽)×400(长)×580(高)毫米
质量 大约。 18公斤

选项

  • Osmium sublimation chamber OPC-ORV (one included with the main unit as standard)

  • 四氧化锇安瓿

  • 升华室运输容器RVT-1

  • O 形圈真空润滑脂 (05 毫升) VS-GR

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