JSM-7200F 配备了采用我们旗舰机 JSM-7800FPRIME 中使用的“镜头内肖特基 Plus”技术的电光系统，并标配了 TTLS（通过镜头系统），与之前的型号相比，无论在高加速电压还是低加速电压条件下，空间分辨率均显着提高。此外，最大照射电流可保证300nA，是兼容高分辨率观察和高通量分析的新一代多用途FE-SEM，并增强了自动功能和其他易用性。
功能
JSM-7200F的主要特点是采用“镜头内肖特基Plus”技术的电子光学系统、使用GB（温和光束模式）和各种探测器实现低加速电压高分辨率观察和信号选择的TTLS（穿镜系统）以及具有电磁场叠加的混合物镜。
镜内肖特基电子枪
镜内肖特基型电子枪优化了电子枪和低像差聚光透镜，通过有效利用来自电子枪的电子，即使在高电流下也可以获得小探针直径。因此，高通量分析（EDS、WDS 绘图、EBSD 分析等）成为可能。
TTLS（通过镜头系统）
TTLS（通过镜头系统）是一种使用 GB（柔和光束模式）实现低加速电压高分辨率观察和信号选择的系统。
通过在GB（柔和光束模式）中向样品施加偏置电压，它可以使入射电子减速并加速样品中的发射电子，即使在低加速电压（入射电压）下也可以进行具有良好信噪比的高分辨率观察。
此外，可以调整通过安装在TTLS中的能量滤波器的滤波器电压检测到的二次电子的量。因此，在极低的加速度条件下，使用上部探测器（UED）只能从样品的最外表面获得高角度背散射电子。
由于滤波器电压而无法被UED检测到的低能电子可以通过可选的上部二次电子检测器(USD)检测到，从而可以同时采集二次电子图像和背散射电子图像。
混合物镜（电磁场叠加）
JSM-7200F的物镜采用我们新开发的混合镜头。
混合透镜是一种电磁场叠加型物镜，结合了磁场透镜和静电透镜。它可以抑制像差，并且可以获得比传统外置透镜更高的空间分辨率。当然，外置镜头的易用性还是一样的，所以观察和分析磁性材料是没有问题的。
应用示例
使用混合镜头的观察示例，GB（柔和光束模式）
使用低像差混合镜头和GB（柔和光束模式），即使对于绝缘材料，也可以以极低的加速电压进行高分辨率观察。
×40,000次
×150,000次
注入电压：05 kV
样品：介孔二氧化硅（由中国上海交通大学车树乃教授提供）
使用上部检测器 (UED) 和能量滤波器的观察示例
这些是低加速条件下的背散射电子图像（使用 UED 获得）。由于它是高角度背散射电子图像，因此图像具有丰富的成分信息，但 08kV 加速度比 5kV 加速度能够测量最外层表面的更详细信息。为了在极低的加速度下获得样品最外表面的背散射电子成分图像，不仅需要上部探测器，还需要用于去除二次电子的能量过滤器。
加速电压：08kV（左数据），5kV（右数据）
样品：镀金表面
能量过滤器：-250 V
特殊样品持有者信息
规格/选项
| JSM-7200F | 具有低真空模式 (LV) 的 JSM-7200F* | |
| 分辨率 (1kV) | 16纳米 | |
| 分辨率 (20kV) | 10微米 | |
| 分辨率（分析期间） | 30纳米（15 kV，WD：10 mm，照射电流：5 nA） | |
| 放大倍数 | ×10～×1,000,000 | |
| 加速电压 | 001～30kV | |
| 辐照电流 | 1 pA 至 300 nA | |
| 探测器（标准） | UED、LED | |
| 探测器（可选） | 美元，RBED | |
| 电子枪 | 镜内肖特基场发射电子枪 | |
| 光圈角控制镜头 | 嵌入式 | |
| 物镜 | 圆锥形透镜 | |
| 样品台 | 全中心测角仪阶段 | |
| 机芯示例 | X：70毫米，Y：50毫米，Z：2~41毫米，倾斜：-5 至 70°，旋转：360° | |
| 电机控制 | 5轴电机控制 | |
| 样品交换室 | 最大直径：100毫米最大高度：40 毫米（用干燥氮气排气） | |
| 长焦深 (LDF) | 内置 | |
| LV 模式 | - | 嵌入式 |
| 低压探测器 | - | LV-BED、LV-SED（可选） |
| LV 分辨率 | - | 18 nm (30 kV) |
| LV 模式下的压力 | - | 10Pa～300Pa |
| 节流孔控制 | - | 通过操作 GUI |
| 引入气体 | 氮气 | |
| 排气系统 | SIP×2，TMP | |
| 排气 | RP × 1 | RP × 2 |
选项
主要选项
可伸缩背散射电子探测器 (RBED)
上部二次电子探测器（美元）
低真空二次电子探测器（LV-SED）
能量色散X射线光谱仪（EDS）
电子背散射衍射 (EBSD)
波长色散 X 射线光谱仪 (WDS)
大样品台(SS100S)
样品交换室（Type1）
舞台导航系统（SNS）
样品室相机
操作台
微笑视图
软X射线发射光谱仪
申请
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