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天游线路检测中心 OmniProbe 350
聚焦离子束扫描电镜
样品室中的纳米机械手

OmniProbe 350 FIB-SEM 样品室纳米操纵器

牛津仪器公司制造的OmniProbe350是一种纳米操纵器,可以执行高精度和平稳的探测操作。
通过安装在JIB-4700F复合光束加工观察装置上,可以一边用SEM、FIB观察一边进行提出作业。
您可以在JIB-4700F的样品室中完成TEM样品制备的整个过程。

功能

  • 直观的探测操作
    探头操作可以通过 SEM 和 FIB 观察方向定义的坐标轴进行控制。

  • 出色的线性
    探头可以在各个方向上线性移动,以便安全提起,而不会碰到凹槽的侧面。

  • 精确移动(包括位置保存)
    一键将探头从存放位置移动到操作位置。
    您还可以保存和调用用户定义的工作位置。

  • 低振动、低漂移
    最大限度地减少怠速时的振动和漂移,降低提升过程中发生故障的风险。

  • 原位芯片交换
    探针可以快速更换,无需对电子显微镜室进行通风。

使用 OmniProbe 350 的 TEM 样品制备流程

1。样品块的制备

2触摸 OmniProbe 进行采样

3。从样品块中提出

4运输至电网

5。修复样本块

6。薄膜加工

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  • 产品信息

规格/选项

身体部位 行程X:±2mm,Y:±1mm,Z:44mm
移动速度 最小:50nm/s,最大:500μm/s
最小步进移动距离50nm以下
控制单元 控制器、PC、显示器、软件
所需的实用程序 AC 90 -264 V,47 – 63 Hz 1 个插座
适用机型

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