一种高功率电子束源，用于在真空中沉积或熔化金属和氧化物。它可以在连续运行的宽、长薄膜和大面积玻璃基板上高速成膜。它还用于电子束熔炼以生产和精炼高熔点金属锭。
功能
电子束可以高速扫描大范围。使用专用控制设备和软件可以创建各种光束照射模式和区域。可以为每个照射位置设置扫描、停留时间、输出和光束形状，从而可以控制熔化表面和薄膜厚度分布。
用法
真空沉积
阻挡膜、保护膜、电极膜、导电膜、磁性膜等薄膜形成
真空熔化
Ti、Ta、Nb、Mo等高熔点金属的铸锭生产和精炼
太阳能电池用多晶硅精炼
高功率电子枪
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在此视频中，有些部分光线变化很快。观看时，请确保房间光线充足，并从远处观看。请注意，观看视频可能会对健康产生影响，例如让您感到不适或导致疾病发作。
2行扫描
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规格/选项
| 型号 | EBG-300UA | JEBG-1000UB | JEBG-3000UB |
|---|---|---|---|
| 最大输出 | 30kW(20kV，15A) | 100kW(30kV，34A) | 300kW(40kV，75A) |
| 最大偏转角度 | ±30° | ||
| 扫描范围 | X、Y轴 | ||
| 最大扫描频率 | 300Hz | 200Hz | 200Hz（300Hz：可选） |
| 适用电源 | ST-30BE2 | JST-100C | JST-300CHR |
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申请
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