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天游线路检测中心 用于熔化金属材料的高功率电子束源:用于多晶硅精炼的真空熔化炉

JEOLnews 第 43 卷,第 1 期,2008 年

JEBG-3000UB是300kW输出的高功率电子束源,用于金属材料的真空熔化/精炼。以太阳能电池多晶硅制造过程中的熔融提纯工艺、冶金法为例进行介绍。

欲了解更多信息,请参阅 JEOLnews Vol43 的 PDF 文件。

PDF 458MB

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