这是一款功能强大且易于使用的电子枪电源。主要特点如下。
功能
1。产量提高
标配 XY 扫描、圆形扫描、线扫描
可以轻松设置熔体轨迹调整，并且可以通过优化熔体轨迹来提高蒸发分布的再现性。
2。减少粒子飞溅
加速电压的高速响应和使用放电抑制电路的高速放电抑制控制可以显着改善坩埚周围沉积物的再蒸发以及电子枪放电时由于电子束的瞬时移动而导致的蒸发材料的飞溅。
3。提高薄膜沉积过程管理的便利性
数字显示器可以对电子枪的各种设置进行详细的数值控制，使电子枪的状态易于了解和管理。
无需测量设备即可检查电子枪电源状态，并且可以远程进行技术跟踪和故障排除，大大提高响应时间。
使用标准电弧计数功能可以让您以数字方式捕获电弧发生频率和数量的趋势，这对于了解沉积室中的污垢程度和电子枪的状态非常有用。
4。节能、紧凑
高效节能电源（功耗改善约10%）*与我们的传统电源相比
紧凑的设计
5。可更换为JST-F电源
通过使用信号转换单元，无需修改蒸发设备侧的控制系统即可更换电源。
请参阅“规格/选项”选项卡了解电缆配置。
特点1提高产量
BS-720xxICE电源标配三种扫描模式：XY扫描、圆扫描和线扫描。
在每种模式下，您可以通过调整峰值来设置扫描频率和停留时间，以改善沉积材料的熔化痕迹。
结果，获得良好的膜厚分布并提高成品率。
[确认实验：不同扫描模式导致的膜厚分布]
使用圆形扫描，即使沉积材料深挖，膜厚分布也很稳定。
我们在以下条件下进行了实验，并测量了浅挖 ZrO2 和深挖 ZrO2 时的光谱特性。
φ1300毫米室。 T-S 1100 毫米。基底圆顶的最外环区域。
在不更换 ZrO2 颗粒的情况下，使用一个颗粒沉积了 3 批 λ/4。
使用圆形扫描和 XY 扫描进行实验。
此图重叠了使用一个 ZrO2 颗粒以 λ/4 沉积的第 1 至第 3 批薄膜的光谱特性。
在XY扫描中，基板圆顶最外周的光谱特性在第一批（浅挖时）和第三批（深挖时）之间不同。
在圆形扫描中，衬底圆顶最外周的光谱特性匹配。
ACR（高级循环模式）
这是一种将传统循环扫描与 XLINE 扫描的停留时间设置相结合的扫描模式。
您可以详细直观地设置径向停留时间。
高级循环模式 (ACR) 操作规范
<规格>
我们没有使用数学公式来计算径向上的停留时间，而是使用类似于现有XLINE模式的块指定方法，并自由设置径向上的强度分布。
<设置方法>
将已成为环形炉标准配备的XLINE模式的波形生成方法应用于循环扫描模式。
可以通过在径向方向上划分为20个部分来详细设置停留时间。
功能2减少粒子飞溅
BS-720xxICE 电源标配三级放电抑制功能（电弧抑制器）。
放电抑制功能是在发生电弧时将加速电压切断至0V，并在切断电弧后恢复加速电压的功能。
BS-720xxICE电源采用开关电源，可以使加速电压快速恢复到微秒量级。
当放电抑制功能工作时，它会切断/返回加速电压，因此电子束移出坩埚/返回。
使用需要较长时间恢复加速电压的电源，光束长时间照射在坩埚外，可能会使坩埚外的沉积物加热并蒸发，从而可能导致异物进入薄膜。
使用BS-720xxICE电源，加速电压恢复时间很短，所以
- 即使放电抑制功能起作用，坩埚外的沉积物也不会被加热和蒸发。
-
即使激活放电抑制功能，坩埚内部蒸镀材料的表面温度波动也非常小且稳定。
这些可有效减少膜中的异物污染。
[验证实验：加速电压恢复时间的影响]
我们通过实验证实，加速电压恢复时间极短。
将测试件（由铜板制成的测试件，在缺氧状态下沉积有 TiOx，以便可以看到颜色差异）放置在坩埚外部。
当光束照射坩埚时，压力迅速增加，并故意产生许多电弧。
使用传统电源时，加速电压的恢复时间较长，因此光束长时间照射到样品上，导致 TiOx 蒸发，下面的铜板可见。
另一方面，使用 BS-720xxICE 电源时，样本保持黑色。
由于加速电压的恢复时间短，光束照射到样品上的时间短，温度不升高，TiOx不蒸发。
良品率对比
用户使用 JST-10F 电源和 BS-72050ICE 电源以量产水平生产了 UV-IR 截止滤光片，并比较了产品质量。使用BS-72050ICE电源时，由于异常放电时的快速恢复性能以及通过扫描调整功能改善熔痕，因此与使用JST-10F电源时相比，成品率得到了提高。
特征3提高薄膜沉积过程管理的便利性
BS-720xxICE 电源没有操作面板。
相反，有一个具有许多功能的遥控器。可以通过遥控器进行各种电源设置。
由于每个参数都是以数字方式设置和管理的，因此即使使用多个设备也可以使用完全相同的设置，从而防止设备之间的条件差异。
此外，通过管理设置值，不仅可以大大提高出现故障或技术支持时的服务响应速度，而且在紧急情况下也可以更轻松地恢复。
参数设置可以受密码保护，因此可以通过设置操作员和管理员的权限来管理参数。
进行设置时
将遥控器设置为设置模式并进行数字设置。
转动[发射电流控制音量]从菜单中选择项目或设置参数值。
手动存款时
[ACC][FIL] 可以使用遥控器上的 ON/OFF 按钮打开/关闭 ACC/FIL。
位置、扫描和发射电流值将以数字形式显示在[LCD显示屏]上。
由于发射电流以数字方式显示，因此在进行与上次相同的蒸发时，只需匹配与上次相同的数字即可，从而提高了再现性。
BS-720xxICE电源配备电弧计数功能。
您可以从远程控制屏幕或外部模拟输出检查电弧发生的次数。
从电弧发生的频率和次数可以了解腔室的污染程度和电子枪的状况，这对于控制薄膜沉积过程是有效的。
特点4节能、紧凑
功耗已得到改善。
BS-720xxICE电源比JST-F电源小。设计紧凑。
特性5可更换为JST-F电源
BS-64330CNV 信号转换单元用于将 JST-F 电源更换为 BS-720xxICE 电源时。
安装在气相沉积设备的控制系统和BS-720xxICE电源之间。
这是一个无需修改蒸镀设备侧控制系统即可将外部控制信号转换为 BS-720xxICE 电源的单元。
使用 BS-64330CNV 信号转换单元时，请参阅“规格/选项”选项卡了解电缆配置。
其他功能：宽输入电压范围
BS-720xxICE电源的输入电压规格为180至242V的宽范围。
传统上，在输入电压以220V为标准的地区，输入电压波动可能会导致使用超出规格的输入电压，并且存在电源在过载状态下使用的风险。
此外，光束照射期间的输入电压波动可能会导致光束位置偏差等光束特性恶化，但使用 BS-720xxICE 电源时，输入电压波动对熔化痕迹几乎没有影响。
规格/选项
| 型号 | BS-72010ICE | BS-72020ICE | BS-72050ICE |
|---|---|---|---|
| 连接的电子枪数量 | 1电子枪规格 | 2电子枪同时规格 | |
| 最大输出 | 48千瓦 | 10千瓦 | |
| 加速电压 | -1 至 -6 kV | -2 至 -10 kV | |
| 发射电流 | 0 ~ 08 A | 0 ~ 1 A | |
| 最大扫描频率 | X轴/Y轴：1 kHz | ||
| 输入功率 | 三相AC180至242V7 kVA | 三相AC180至242V15kVA | 三相AC180至242V16 kVA |
| 外部尺寸（电源） | 570 毫米（宽）×700毫米（深）×1,000毫米（高） | 570毫米（宽）×700毫米（深）×1,400毫米（高） | |
| 质量 | 约140公斤 | 大约。 180公斤 | 约200公斤 |
| 接地 | A 类（10 Ω 或更小） | ||
电缆配置：标准
| 分类 | 姓名 | 型号 | 长度 | 所需数量 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1枪 | 2GUN | ||||
| C1 | 高压电缆（2条1套） | BS-64100C1 | 55 m | 1套（2件） | 2套（4件） |
| BS-64110C1 | 10 m | ||||
| BS-64120C1 | 15 m | ||||
| C2 | 返回电缆 | BS-64130C2 | 55 m | 1套（1件） | 2个公式（2个） |
| BS-64140C2 | 10 m | ||||
| BS-64150C2 | 15 m | ||||
| C3 | 线圈电缆 | BS-64161C3 | 65 m | 1套（1件） | 2个公式（2个） |
| BS-64171C3 | 10 m | ||||
| BS-64181C3 | 15 m | ||||
| C4 | 联锁电缆 | BS-64190C4 | 6 m | 1套（1件） | 1套（1件） |
| BS-64220C4 | 10 m | ||||
| BS-64280C4 | 20 m | ||||
| C5 | 电源状态线 | BS-64200C5 | 6 m | 1套（1件） | 1套（1件） |
| BS-64230C5 | 10 m | ||||
| BS-64290C5 | 20 m | ||||
| C6 | 遥控器线 | BS-64301C6 | 5 m | 1套（1件） | 1套（1件） |
| BS-64310C6 | 10 m | ||||
| BS-64211C6 | 15 m | ||||
电缆配置：使用 BS-64330CNV 信号转换单元时
使用本装置时，需要 C7 和 C8，而不是 C4 和 C5。
| 分类 | 名称 | 型号 | 长度 | 所需数量 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 1枪 | 2枪 | ||||
| C1 | 高压电缆（2条1套） | BS-64100C1 | 55 m | 1套（2件） | 2套（4件） |
| BS-64110C1 | 10 m | ||||
| BS-64120C1 | 15 m | ||||
| C2 | 返回电缆 | BS-64130C2 | 55 m | 1套（1件） | 2 种（2 件） |
| BS-64140C2 | 10 m | ||||
| BS-64150C2 | 15 m | ||||
| C3 | 线圈电缆 | BS-64161C3 | 65 m | 1套（1件） | 2个公式（2个） |
| BS-64171C3 | 10 m | ||||
| BS-64181C3 | 15 m | ||||
| (C7) | 状态转换电缆 | BS-64240C7 | 10 m | 1套（2件） | 1套（2件） |
| BS-64250C7 | 15 m | ||||
| (C8) | 信号转换线 | BS-64260C8 | 10 m | 1套（3件） | 2套（6件） |
| BS-64270C8 | 15 m | ||||
| C6 | 遥控器线 | BS-64301C6 | 5 m | 1套（1件） | 1套（1件） |
| BS-64310C6 | 10 m | ||||
| BS-64211C6 | 15 m | ||||
应用
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这是一种采用电子束轰击间接加热方法的真空蒸发源。通过在传统型号（BS-60310BDS）上添加光束扫描功能功能包括高速率支持、厚膜形成以及对大型设备的支持。
大容量内胆。
高比率。与传统模型相比，Al 材料的功率提高了 10 倍，Ge 材料的功率提高了 40 倍。
兼容大型设备。即使T-S距离为11m也能获得足够的速率。
兼容厚膜。它还可用于红外应用。
速率稳定。我们已经实现了可升华材料的速率稳定，这对于传统模型来说是困难的。
它也继承了之前型号的特点，例如低损伤、低缺陷、低吸收。
