天游线路检测中心 扫描电子显微镜 (SEM) 和透射电子显微镜 (TEM) 的演变
第 1 部分是质谱 (MS) 和核磁共振 (NMR)
SEM 通过自动样品交换节省劳动力 - Neo Action Robo
到目前为止,SEM 中的样品交换必须由设备前的人员手动完成。此次展出的“Neo Action Robo”具有通过机械臂实现这一过程自动化的新功能。 SEM顶级模特JSM-IT810实施,展厅演示吸引了众多参观者的关注。
这项开发源于一位大学研究人员创建无人实验室的请求。
“SEM 观察和分析已高度自动化,但样品交换仍需手动完成。
这在您想要全天 24 小时操作设备的情况下尤其有效。“当检测项目较多时,即使在晚上也需要人来更换样本。通过将这项任务交给机器人,不再需要人一直在场,并且可以高效地处理大量样本。” (田中)
展会上,人们对自动化技术的兴趣大大超过了往年。许多参观者包括在半导体、金属、电子元件和化学品等各个领域使用 SEM 的工程师、开发人员和质量控制人员。回顾过去,田中说:“我们收到了很多以前没有考虑过自动化的客户的惊讶反馈,他们询问,‘这是可能的。’
“随着对无人值守和省力系统的需求增加,这些自动化技术预计将部署在各种应用中,包括企业质量保证和产品开发站点,”田中在谈到他的前景时说道。
通用SEM扩大了教育和工业用途的范围
另一方面,通用型 SEM 正在为更广泛的用户开发。JSM-IT710」「JSM-IT510」「JSM-IT210」「JCM-7000” JCM-7000是一款紧凑型桌面型号,已上市六年,可用于多种场合,从大学和技术学院的教育目的到工厂的抽样检验和质量控制。
SEM 与 TEM 的不同之处在于,根据样品的状况,可能不需要预处理,并且可以相对容易地观察。 JEOL 的 Sekine 解释道:
``SEM 的一大优点是可以直接观察样品表面。与 TEM 不同,无需制作 100 纳米级别的薄片,因此易于使用,入门门槛低。它被各种客户使用,包括教育机构和工厂。''
“目标不限于初学者。学生可以将其用作入门机器,但如果您利用附加功能,它也可以用于应用研究。该系列的一个特点是它具有广泛的应用范围。事实上,它是一个可以满足从质量控制到应用研究的广泛需求的设备。” (相同)
“我们的通用 SEM 支持高真空和低真空模式。此外,我们的元素分析仪 (EDS)
“本次展会还吸引了新应用的关注。例如,结合SEM和内部EDS的颗粒分析可用于评估金属夹杂物并检查汽车零部件的清洁度,并且还可以通过单击自动确定每种化合物的分布和浓度。”
“例如,存在与现场检查直接相关的需求,例如根据 ISO 标准通过汽车零部件的形状和清洁度评估来确定石棉的情况。这种新的分析功能可以满足这些需求。”
超过500人参加了事先举办的网络研讨会,很多人都感兴趣。
[应用说明] 使用颗粒分析/详细分类对颗粒进行自动分类 ~石棉自动分类示例 ~
SightSKY™ 相机和改进 TEM 的集成软件 FEMTUS™
透射电子显微镜 (TEM) 是高分辨率分析的主要设备,它允许电子束穿过约 100 纳米的薄样品以观察其内部结构。它广泛应用于国家实验室、大学研究中心和私人高级研究实验室,近年来,随着半导体的小型化,它被越来越多地引入质量控制场所。
解释者小桥说道: “随着设备变得越来越小,用于评估它们的设备需要更高的分辨率。随着半导体不断变得更小,TEM 级分辨率现在至关重要。”
TEM 也有其自身的实施障碍。
“样品需要加工至100纳米或更薄。因此,需要一套样品制备技术和专用设备。例如,该过程包括使用FIB-SEM进行观察,同时切割和精加工至所需的厚度。我们的作用不仅是提出TEM本身,还提出外围技术。” (相同)
本次展会上最引人注目的是我们公司的相机“SightSKY™”。此前,我们依赖国外制造的相机,但从 2025 年开始,所有 TEM 系列都可以安装国产相机。 SightSKY™ 拥有 19 兆像素的高分辨率,与竞争产品相比具有卓越的性价比。
小桥解释:“相同价格范围内的竞争相机主要是 16 兆像素,但 SightSKY™ 是 19 兆像素相机。以前只能选择海外相机,容易受到不确定因素的影响,但有了我们自己的相机,我们现在可以做到供应稳定,成本放心。”
此外,JEOL新开发的综合分析平台“FEMTUS™”也引起了人们的关注。借助可集中管理 TEM 控制、相机、探测器、元素分析等的软件,您可以提高现场可操作性。
``迄今为止,需要同时启动和操作多个软件才能进行观察,但有了 FEMTUS™,这可以通过一个软件完成。最大的一点是它使研究人员从复杂的操作中解放出来,并提供了一个可以专注于基本分析的环境。''(相同)
小桥最后强调:“TEM 是高端设备,大多数安装都集中在更新或扩展现有设备而不是新设备。但是,随着 SightSKY™ 和 FEMTUS™ 的出现,我们相信可操作性和分析效率将会提高,我们将能够为现有客户提供新的价值。”
摘要
在研发领域,通过节省劳动力提高效率和通过高分辨率观察提高复杂性等问题正变得越来越复杂。 JEOL 推出了用于扫描电子显微镜的自动样品交换功能“Neo Action”。
JEOL 以其在一个软件包中提供硬件和软件的综合能力来响应“如何有效操作设备”和“如何准确捕获微观结构”两个主题。 JASIS2025上推出的最新技术象征着这种态度。
JEOL 将继续支持客户的研发和工业应用,为科学进步和社会问题的解决做出贡献。
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