JSM-IT510 InTouchScope™ 扫描电子显微镜 |产品信息|日本日本株式会社

您需要的数据总是简单的。

扫描电子显微镜 (SEM) 不仅已成为研究、质量保证和制造的重要工具。
在这些地点，需要一遍又一遍地重复相同的观察工作，并且需要提高该过程的效率。

JSM-IT510新增的简单SEM功能让您可以将传统SEM观察所需的重复性手动工作“委托”出去。现在可以更高效、更轻松地完成 SEM 观察工作。

功能

简单扫描电镜
只需选择您要拍摄的视野即可

交换导航示例
放入样品，毫不犹豫地观察

零磁
如果放大光学图像，它是SEM图像

实时分析/实时地图
即使在观察期间也能进行连续元素分析

功能齐全
功能

简单扫描电镜

只需选择您要拍摄的视野即可

简单的 SEM 支持日常工作。

样品：电子元件
加速电压：15 kV，放大倍数：（顶部）x 50（底部）x 1,000，信号：背散射电子

视频介绍

简单SEM的功能介绍。

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交换导航示例

放入样品，毫不犹豫地观察

安全又简单！交换导航示例

1。根据样本交换导航插入样本

2。准备使用真空抽气时间进行观察

舞台导航系统 (SNS) 是可选的。
SNS 大样本 (SNSLS) 是一个单独的选项。可以与SNS结合使用。
腔镜 (CS) 是可选的。

3。观察自动开始

疏散完成后，在目标视野内调整焦点和亮度。

零磁

如果放大光学图像，它是SEM图像

Zeromag 保存支架图形和光学图像^※和 SEM 图像。
当多个样品放置在支架中或观察特定位置时，可以更轻松地找到视野。

需要可选的舞台导航系统 (SNS) 来显示光学图像。

样品：菊石化石<加速电压：7 kV，信号：背散射电子

实时分析/实时地图^※

即使在观察期间也能进行连续元素分析

实时分析是一种始终显示特征 X 射线光谱和元素图的功能。
您可以在观察的同时搜索所需的元素。

适用于 A（分析）/LA（低真空和分析）。

样品：菊石化石
加速电压：15 kV 放大倍数：×1,000

轻松分析功能

点击 3 次即可开始分析。

简单SEM的功能介绍。

视频介绍

介绍实时地图的功能。

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功能齐全

低真空混合二次电子探测器（LHSED）^※

JSM-IT510可配备新开发的LHSED。
通过检测二次电子与残余气体分子碰撞时产生的电子和激发光，即使在低真空下也可以获得不均匀信息。

这是可选的。需要 LV（低真空）和 LA（低真空与分析）。

低真空混合二次电子探测器工作原理
样品：石膏
加速电压：7 kV，放大倍数：×10,000，信号：低真空二次电子

直播 3D^※

使用新开发的 4 段背散射电子探测器实时显示 3D 图像*。
这使您可以在视觉上识别难以判断不均匀性的样品形状。

适用于 LV（低真空）、LA（低真空和分析）。如果安装了背散射电子探测器（可选），则可以进行 BU（基本单元）和 A（分析）。

样品：螺丝
加速电压：15 kV 放大倍数：×100 信号：背散射电子

视频介绍

介绍 Live 3D 的功能。

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蒙太奇功能

自动将多个视野拼接到单个图像中。

样品：菊石化石
加速电压：15 kV，放大倍数：×150，信号：背散射电子视场数：13×13

需要可选的舞台导航系统 (SNS) 来显示光学图像。

信号深度显示

信号深度显示功能内置于 SEM GUI 中，可让您立即了解正在测量的样品的分析深度（近似值）。对元素分析有效。

规格/选项

技术数据

JSM-IT510系列有4种类型。

BU（基本单位）	可在高真空下观察的基本型
A（分析）	配置能量色散X射线光谱仪（EDS）并可进行标准分析的分析型
LV（低真空）	低真空型配备背散射电子探测器（BED），可在低真空（最大650 Pa）下进行观察
LA（低真空和分析）	配置了 BED 和 EDS 的低真空分析类型

主要规格

分辨率	高真空模式 30 nm (30 kV), 150 nm (10 kV) 低真空模式※1　 40 nm（30 kV BED）
照片放大	×5 ~ ×300,000 （放大倍率是根据显示尺寸128毫米×96毫米定义的）
显示放大倍数	×14 ~ ×839,724 （放大倍率是根据显示器尺寸358毫米×269毫米定义的）
电子枪	W灯丝全自动喷枪对准
入射电压	03kV~30kV
低真空压力设定范围※1	10 ~ 650Pa
物镜光圈	4级带XY微调功能
自动功能	灯丝调整、喷枪对准调整光束对准对焦/散光/亮度/对比度调节
最大样本量	200 毫米直径 x 75 毫米高度 200 毫米直径 x 80 毫米高度※3 32 毫米直径 x 90 毫米高度※3
样品阶段	大型同心型 X：125 毫米 Y：100 毫米 Z：80 毫米倾斜：-10 ~ 90° 旋转：360°
图像模式	二次电子图像、REF图像、合成图像※1 凹凸图像※1，3D 图像※1，PD 图像※4
图片大小	640 × 480　1,280 × 960 2,560 × 1,920　5,120 × 3,840
摄影辅助功能	蒙太奇摄影，简单 SEM Zeromag，实时 3D
操作支持功能	食谱（标准食谱/自定义食谱）测量（两点之间的距离、平行线之间的距离、角度、直径等）交换导航示例信号深度显示 3D测量※5
操作系统	微软®Windows®10 64 位
观察监视器	238型触摸屏
EDS 功能※2	请参阅 EDS 规范
数据管理	SMILE VIEW™ 实验室
报告创建一键报告	微软®输出到Word 微软®输出到 PowerPoint※6
排气系统	全自动 TMP：1 单位 RP：1 或 2 单位※1

主要选项

背散射电子探测器 (BED)^※1
低真空混合二次电子探测器（LHSED）
低真空二次电子探测器（LVSED）
能量色散X射线光谱仪（EDS）^※2
波长色散 X 射线光谱仪 (WDS)
电子背散射衍射检测器 (EBSD)
装载室 (LLC)
舞台导航系统（SNS）
舞台导航系统大样本（SNSLS）
暗室瞄准镜 (CS)
操作面板(OP2)
LaB6 单元 (LAB6)
三维分析软件（SVM）
表格（TBL）

EDS 规范

适用于 A（分析）/LA（低真空和分析）。
●: 标准 ○: 选项

		标准
控制电脑	操作系统：微软®Windows®10 64 位※8	●
支持的语言	日语/英语/中文※7	●
探测器	SDD 类型	从探测器列表中选择
光谱分析	定性分析（峰识别、自动定性）视觉峰 ID 无标定量分析（ZAF法）标准定量分析（ZAF法）※9 PHI-RHO-Z（PRZ）合法定量校正方法 QBase（定性分析数据库）	●
线路分析	直线分析（水平、任意方向）	●
元素图	元素图（多色显示、单色显示、多色复合）最大分辨率4,096×3,072 实时弹出频谱波形分离图（净计数图、定量值图）实时净计数图实时过滤线路轮廓显示探针跟踪播放分析	●
持续分析	光谱分析/线分析/元素图测量数据的批量分析（定性/定量）	●
蒙太奇	自动蒙太奇创建（SEM 图像、元素图）跨越多个视野的连续元素图	●
颗粒分析软件	颗粒分析（自动/手动）&EDS分析、颗粒分析数据分类功能、颗粒分析数据统计处理的图形显示、广域连续颗粒分析和EDS分析 GSR 库铁矿石分析库汽车零部件清洁度分析库	○ ○ ○ ○
报告创建	SMILE VIEW™ 实验室微软®Word、微软®输出到 PowerPoint※6	●
SEM 集成	观测分析数据统一管理指定SEM操作屏幕上的分析位置（从SEM UI直接分析）分析位置的图形显示	●
帮助功能	提供帮助指南	●
双探测器	集成并分析来自每个探测器的数据※10	○
离线功能	允许在设备以外的 PC 上进行数据分析的许可软件	○