天游线路检测中心 新型扫描电子显微镜 JSM-IT510 系列 InTouchScope™ 现已上市 - 始终轻松获取所需数据。 —
发布日期：2021/11/08
天游线路检测中心（总裁兼首席运营官大井泉）开发了新型扫描电子显微镜 JSM-IT510 系列，并于 2021 年 11 月开始销售。
开发背景
扫描电子显微镜应用于多个领域，包括纳米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学，其应用范围日益扩大。此外，它们的用途正从基础研究扩展到生产现场和质量控制，对更快、更轻松地获取观测和分析数据的需求也相应增加。
为了满足这些需求并提高吞吐量，我们开发了 JSM-IT510 系列，进一步提高了我们广受欢迎的 InTouchScope™ 的可操作性。
借助新功能 Simple SEM，您现在可以将日常工作（重复性工作）“委托”给设备。
主要特点
- 新开发的简单SEM
简单SEM功能是一种通过简单选择SEM图像获取条件和视野来自动获取SEM图像的功能。日常工作可以变得更有效率。 - 新开发的低真空混合二次电子探测器（LHSED）
该探测器即使在低真空下也可以通过探测二次电子与残余气体分子碰撞时产生的电子和激发光来获得详细的不均匀信息。 - 扫描电子显微镜 (SEM) 和能量色散 X 射线光谱仪 (EDS) 的集成
SEM 和 EDS 的集成进一步发展，Live Map 可以实时显示观察场的元素图。 - 新功能Live3D
在 SEM 观察过程中，当场构建 3D 图像，可以获得凹凸/深度信息。 - 实时分析
配备实时分析功能，即使在观察过程中也能持续显示元素分析结果，从而实现高效的元素分析。 - 新功能舞台导航系统LS
可以获取比之前型号（200 毫米 x 200 毫米）大四倍的光学图像。载物台导航系统获取观察样品的光学图像，只需单击光学图像即可移动到所需的观察视野。 - 零磁
您可以像光学显微镜一样移动视场，即使在观察和分析多个视场时也能快速舒适地找到视场。 - 信号深度显示
可以立即知道被测样品的分析深度（近似值）。 - SMILE VIEW™ Lab，可集中管理获取的数据
您可以集中管理观察图像和元素分析结果，并在短时间内轻松创建所有数据的报告。
主要规格
| 分辨率高真空模式 | 30 nm (30 kV) 150 nm (10 kV) |
| 分辨率低真空模式 | 40 nm（30 kV 背散射电子图像） |
| 照片放大 | ×5～×300,000 （放大倍率是根据显示尺寸 128 毫米 x 96 毫米定义的） |
| 显示放大倍数 | ×14～×839,724 显示器上的图像放大倍数（放大倍数是根据显示尺寸 358 毫米 x 269 毫米定义的） |
| 电子枪 | 钨丝 |
| 加速电压 | 03kV～30kV |
| 辐照电流 | 1 pA 至 1 μA |
| 低真空压力设定范围 | 10〜650帕 |
| 自动功能 | 灯丝调节、喷枪对准调节、焦点/散光/亮度/对比度调节 |
| 最大样本量 | 最大样品直径200毫米，最大样品高度90毫米 |
| 样品台 | 大型同心型 X：125 毫米 Y：100 毫米 Z：80 毫米 倾斜：-10 至 90° 旋转：360° |
| 标准配方 | 是（包括 EDS 条件） |
| 图像模式 | 二次电子图像、REF图像、合成图像、不均匀图像、3D图像 |
| EDS 功能 | 光谱分析、定性/定量分析、线分析（水平线分析、任意方向线分析）、元素映射、探针跟踪 |
*规格和照片为 JSM-IT510(LA)
标准价格
22,000,000日元起（含税）
计划销量
200 台/年
